公开(公告)号：CN101310870A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200810004929.6

申请日：2008-01-29

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 相良秀一 ,  增市干雄 ,  高村幸宏 ,  川越理史 ,  松家毅

IPC: B05C5/02 ,  B05B13/04 ,  B05C13/02 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明涉及一种涂敷装置，喷嘴从其前端部以液柱状态喷出涂敷液；载物台将基板装载在其上表面上；喷嘴移动机构在载物台上的空间中，在横穿该载物台面的方向上使喷嘴进行往复移动；液体接受部，其包括有倾斜面，在喷嘴移动机构使喷嘴沿着横穿的方向移动并由该喷嘴向着从载物台上偏离的位置喷出涂敷液时，接受从该喷嘴向载物台外喷出的涂敷液。倾斜面在配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴的前端部的垂直下方的位置，向着横穿的方向延伸设置，并相对于与该横穿的方向相垂直的水平方向而倾斜。液体接受部使配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴所喷出的涂敷液以液柱状态涂敷附着于倾斜面上进行回收。

公开(公告)号：CN1939602A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610138986.4

申请日：2006-09-22

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 川越理史 ,  增市干雄 ,  吉田顺一 ,  松家毅 ,  高村幸宏 ,  上野博之

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02 ,  B05B13/02 ,  B05B15/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  B41J2/01 ,  C03C17/00

Abstract: 一种涂布系统(1)，具有处理单元组(2)、分度器(3)和多级搬送机械手(4)，处理单元组(2)包括有机EL胶带单元(26)、有机EL涂布单元(24)、和有机EL烘培单元(25)。在涂布系统(1)中，在处理单元组(2)，通过有机EL胶带单元(26)在基板的禁止涂布区域粘贴第二遮蔽胶带，通过有机EL涂布单元(24)在包括禁止涂布区域的基板上的区域涂布有机EL液。并且，通过由流动性材料除去单元即有机EL胶带单元(26)剥离第二遮蔽胶带，从而能容易地得到仅在涂布区域涂布了有机EL液的基板。然后，通过由有机EL烘培单元(25)进行对基板的加热处理，从而有机EL液固定在基板上，而形成了有机EL层。

公开(公告)号：CN1796001A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200510120262.2

申请日：2005-11-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 高村幸宏 ,  增市干雄 ,  松家毅 ,  铃木聪 ,  西牟田浩史

IPC: B05C5/04 ,  B05C11/10 ,  B05D5/06 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。