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公开(公告)号：CN101682956B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200880018600.3
申请日：2008-04-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3246 , H01L51/0005 , H01L51/5096 , H05B33/02 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种有机EL显示装置及其制造方法，该有机EL显示装置形成有矩阵状地配置有多个像素区域的基板、第一电极和第二电极、具有载流子输送层和非载流子输送层的功能性材料层、和分别区划多个像素区域的障壁层。在障壁层上形成有连通部，该连通部使非载流子输送层在障壁层所区划的多个像素区域的分别相邻的第一像素区域与第二像素区域之间延伸。
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公开(公告)号：CN110709918B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201780089086.1
申请日：2017-03-31
Applicant: 堺显示器制品株式会社 , 夏普株式会社
Abstract: 具备：反射型液晶显示元件(30)，其在TFT基板(20)的第一区域(R)中形成于绝缘层(25)的上方，并具有反射电极(31)、液晶层(32)以及对置电极(33)；和有机EL显示元件(40)，其在TFT基板(20)的绝缘层(25)上的第二区域(T)形成，并具有第一电极(41)、有机层(43)以及第二电极(44)。而且，为了包覆有机EL显示元件(40)的第二电极(44)以及有机层(43)，至少在有机EL显示元件(40)的表面形成有被覆层(45)，被覆层(45)的一部分与绝缘层(25)接合。作为其结果，得到不产生有机层的劣化且可靠性高的复合型的显示装置。
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公开(公告)号：CN110709918A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201780089086.1
申请日：2017-03-31
Applicant: 堺显示器制品株式会社 , 夏普株式会社
Abstract: 具备：反射型液晶显示元件(30)，其在TFT基板(20)的第一区域(R)中形成于绝缘层(25)的上方，并具有反射电极(31)、液晶层(32)以及对置电极(33)；和有机EL显示元件(40)，其在TFT基板(20)的绝缘层(25)上的第二区域(T)形成，并具有第一电极(41)、有机层(43)以及第二电极(44)。而且，为了包覆有机EL显示元件(40)的第二电极(44)以及有机层(43)，至少在有机EL显示元件(40)的表面形成有被覆层(45)，被覆层(45)的一部分与绝缘层(25)接合。作为其结果，得到不产生有机层的劣化且可靠性高的复合型的显示装置。
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公开(公告)号：CN105940140B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201480074226.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0002 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/546 , C23C16/455 , C23C16/50 , H01L51/0008 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。
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公开(公告)号：CN107849686A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680046218.8
申请日：2016-08-03
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/243 , C23C14/26 , H01L51/001
Abstract: 蒸镀源(10)中的蒸镀颗粒射出单元(30)包括：各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元；和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)，该空间部的四周被侧壁(44)包围，该侧壁(44)设置有至少1个将该空间部和真空腔室内空间(2a)连接的开口部(45)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107735508A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201680035857.4
申请日：2016-06-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/228 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀装置(100)包括：蒸镀源(30)；蒸镀掩模(10)；配置在蒸镀源与蒸镀掩模之间的限制板单元(20)；和气体供给机构(50)，其在蒸镀掩模与限制板单元之间的部分、并且在俯视时限制板单元的相邻的限制板开口(21)之间、并且在蒸镀掩模的相邻的掩模开口区域(11)之间的非开口部(13)形成气体壁(501)。
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公开(公告)号：CN107250423A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680010578.2
申请日：2016-02-18
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C4/134 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/24 , H01L21/203 , H01L51/50 , H01L2221/1052 , H01L2221/1068 , H01L2221/1042 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供一种蒸镀单元(1)，包含：蒸镀掩膜(10)、具有限制板(22)的限制板单元(20)及蒸镀源(30)。蒸镀源(30)俯视时具有：分别设置在限制板(22)间的限制板开口(23)间的用于蒸镀颗粒射出的多个第一开口部(31)及设置在不与限制限制板开口(23)相对的位置的至少一个用于泄压的第二开口部(32)。
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公开(公告)号：CN105324511B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201480035328.5
申请日：2014-05-01
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3244 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够抑制模糊宽度增大并且缩短成膜时间的有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置。本发明是使用扫描蒸镀法的有机EL元件的制造方法，其特征在于，以与限制板的各开口部相对的方式在蒸镀源设置多个射出口，将与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置，使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下。Ri表示与同一开口部相对的多个射出口中的射出口i的最大成膜速率，i表示1以上m以下的整数，m表示与同一开口部相对的多个射出口的个数，ri表示蒸镀工序中的射出口i的实际的成膜速率，ni为射出口i的n值(0以上的数)，θi表示将射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。
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公开(公告)号：CN105378139B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201480039163.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C16/458 , H01L27/3241 , H01L51/50 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括：第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。
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公开(公告)号：CN106574358A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041850.9
申请日：2015-07-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , H01L51/001 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。
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