公开(公告)号：CN111009578A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201911043605.8

申请日：2019-10-30

Applicant: 国电南瑞科技股份有限公司

Inventor： 郑婷婷 ,  李宇柱 ,  李伟邦 ,  骆健 ,  董长城 ,  叶枫叶 ,  黄全全

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/08 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明公开了一种IGBT沟槽栅末端结构，包括衬底、虚拟沟槽区、多晶硅块、介质层、接触窗口、发射极金属层。虚拟沟槽区设于衬底端面上，虚拟沟槽区包括两条以上相互平行的虚拟沟槽，虚拟沟槽内填充有多晶硅，多晶硅块设于衬底端面上，用于并联虚拟沟槽区内的虚拟沟槽，介质层覆设于衬底端面上，且多晶硅块位于衬底与介质层之间，接触窗口贯穿介质层并延伸至多晶硅块上，接触窗口中填充有导体，发射极金属层覆设于介质层外表面，并通过接触窗口中的导体使得位于介质层上方的发射极金属层和介质层下方的多晶硅块及虚拟沟槽相连。由于采用添加多晶硅块并直接在多晶硅块上方开接触窗口保证了足够的接触面积，使得电场更加分散，增加了门极击穿电压。

公开(公告)号：CN110112122A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201910361350.3

申请日：2019-04-30

Applicant: 国电南瑞科技股份有限公司

Inventor： 姚二现 ,  王立 ,  潘政薇 ,  李宇柱

IPC: H01L25/07 ,  H01L23/49 ,  H01L23/495

Abstract: 本发明公开了一种多芯片并联的半桥型IGBT模块，包含上下两个桥臂，每个桥臂由三组IGBT芯片组构成，每组IGBT芯片组由一颗IGBT芯片和与之反并联的续流二极管FRD构成，构成上桥臂的IGBT芯片和反并联的续流二极管FRD芯片背面焊接在上桥臂覆铜陶瓷衬板上，正面通过键合线蔟实现连接；构成下桥臂的IGBT芯片和反并联的续流二极管FRD芯片背面焊接在下桥臂覆铜陶瓷衬板上，正面通过键合线蔟实现连接。本发明能够通过改变IGBT芯片和FRD芯片的相对排列位置、IGBT芯片的栅极朝向和栅极信号回路的方式，解决了现有技术中存在的多芯片并联IGBT半桥模块开通过程中电流不均衡的问题，明显缩小模块芯片间的开通峰值电流差异，开通过程对芯片的电流冲击减小，有利于模块长期可靠运行。

公开(公告)号：CN209896059U

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201920616357.0

申请日：2019-04-30

Applicant: 国电南瑞科技股份有限公司

Inventor： 姚二现 ,  王立 ,  潘政薇 ,  李宇柱

IPC: H01L25/07 ,  H01L23/49 ,  H01L23/495

Abstract: 本实用新型公开了一种多芯片并联的半桥型IGBT模块，包含上下两个桥臂，每个桥臂由三组IGBT芯片组构成，每组IGBT芯片组由一颗IGBT芯片和与之反并联的续流二极管FRD构成，构成上桥臂的IGBT芯片和反并联的续流二极管FRD芯片背面焊接在上桥臂覆铜陶瓷衬板上，正面通过键合线蔟实现连接；构成下桥臂的IGBT芯片和反并联的续流二极管FRD芯片背面焊接在下桥臂覆铜陶瓷衬板上，正面通过键合线蔟实现连接。本模块能够通过改变IGBT芯片和FRD芯片的相对排列位置、IGBT芯片的栅极朝向和栅极信号回路的方式，解决了现有技术中存在的多芯片并联IGBT半桥模块开通过程中电流不均衡的问题，缩小模块芯片间的开通峰值电流差异，开通过程对芯片的电流冲击减小，有利于模块长期可靠运行。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利