公开(公告)号：CN113932830B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202111074395.6

申请日：2021-09-14

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 齐兵 ,  房磊 ,  徐陆通 ,  林泽峰 ,  齐修远 ,  陈嘉宇 ,  田帅帅 ,  石帅帅

IPC: G01C25/00 ,  G01D18/00 ,  G01N25/20 ,  G06F17/11

Abstract: 一种基于热传导分析的MEMS器件温漂误差精密测量方法，属于微传感器件领域。本发明解决了现有基于热传导分析的MEMS器件温漂误差测量准确性差的问题，本发明采用温度检测系统对MEMS器件的温度进行采集，并将所述温度检测系统和MEMS器件均放置在高低温箱内，通过控制高低温箱的温度变化，获取MEMS器件伴随温度变化的输出数据，将MEMS器件输出的数据分别与不同温度下器件的标准数据值进行比较，获取温漂误差。本发明适用于MEMS器件温漂误差精密测量。

公开(公告)号：CN114877885A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210503676.7

申请日：2022-05-10

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 齐兵 ,  田帅帅 ,  程建华 ,  姜超 ,  李家祥 ,  陈嘉宇 ,  郑佳桐 ,  林泽峰

IPC: G01C21/16

Abstract: 一种微惯性器件温漂误差测试方法，属于微惯性传感器件测试领域。解决了微惯性器件的温漂误差测试结果的精准性和可信性低的问题。本发明控制高低温箱将环境温度降低至微惯性器件工作温度下限值，待微惯性器件和测温系统实测数据均稳定后，记录微惯性器件温度和微惯性器件输出；根据微惯性器件自身参数确定高低温箱的升温梯度，根据高低温箱的结构及其空间参数，确定升温间隔；按照升温梯度和升温间隔调整高低温箱内的环境温度，直至达到微惯性器件工作温度上限值，并维持该温度直至微惯性器件和测温系统实测数据稳定1h，同时记录下升温过程中微惯性器件温度和微惯性器件输出。本发明适用于微惯性器件温漂误差测试。