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公开(公告)号：CN118317497A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410128409.5
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，装置包括：真空罐体，其内部设有反应腔室；其两侧设有测量窗口；测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口；等离子体源，与反应腔室连通，用于产生标准等离子体；真空系统，与罐体内连通；探针检测装置和光谱检测装置，分别设置在同组的探针测量窗口和光谱测量窗口内；分析控制器，与探针检测装置和光谱检测装置电连接，用于根据探针检测装置和光谱检测装置的检测结果，对光谱检测装置进行校准。本发明通过探针检测装置与光谱检测装置对标准等离子体的同样位置进行测量，利用探针检测装置的测量结果对光谱检测装置进行校准，提高了光谱法测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN113049144B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202110331756.4
申请日：2021-03-29
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 , 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供了一种用于温度测量系统进行全系统宽低温综合校准设备的隔热腔，该方案采用制冷机制冷和加热器加热综合控温方式，隔热校准腔采用三层结构，中层外层真空隔热，内层作为校准温度源，放置传感器安装铜座，通过充氦实现温度场快速均匀。在校准过程中，温度传感器带线缆穿过密封座后，置于校准腔内的传感器安装铜座内，然后对导线实行密封，中外层抽真空隔热，内层充氦。准备就绪后，在测控机柜控制下，按照校准流程实施制冷机和加热器校准腔温度控制，达到校准目标温度值后，温度测量系统采集校准温度点的电流或电压值。按流程所有校准点完成后进行校准曲线拟合，得到温度测量系统测量范围内的校准曲线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117794038A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410128411.2
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接触法的等离子体离子能量测量装置，包括壳体和支撑座，壳体内部设有前后两端敞口的筒状内腔，筒状内腔内设有屏蔽罩层和收集极以及在屏蔽罩层和收集极之间设有若干交叠设置的绝缘隔离板和栅网；屏蔽罩层上离子体进入孔与绝缘隔离板上绝缘通孔连通形成离子体阻滞腔，收集极上设有与离子体阻滞腔连通的第一通气孔；支撑座上设有接线孔，接线孔内设有电缆接头座，电缆接头座上设有与第一通气孔连通的第二通气孔。本发明，通过第一通气孔和第二通气孔将多余工质气体排出，避免离子体阻滞腔内压力过高影响收集极采集结果的准确性。
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公开(公告)号：CN114245554A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111465016.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置及测量方法，多点测量装置，包括：真空舱；与所述真空舱相连接的真空泵单元；与所述真空泵单元相连接的工控单元，用于提供并维持所述真空舱的真空环境；以及测量单元；所述测量单元包括：至少两个设置在所述真空舱内的三维移动平台；设置于所述三维移动平台上的探测结构；与所述探测结构连接，用于采集数据的采集单元；探测结构采用朗缪尔探针、RPA探针或Faraday探针。本发明可以提高等离子体测量效率、能够连续测量羽流多点对称性，打破朗缪尔探针使用的局限性、屏蔽探针电路中的误差干扰，同时，本发明的多点测量装置结构简单、稳定可靠，实用性强。
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公开(公告)号：CN110856331A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911123708.5
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN118102567A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410357581.8
申请日：2024-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提出了一种等离子体温度密度光学测试校准装置及校准方法，属于航天等离子体光学测试校准领域，包括校准装置包括光谱仪、光学探头和ECR等离子体源，ECR等离子体源包括微波源、微波传输系统、微波反应腔和等离子体负载，微波传输系统包括三销钉调配器和三端环形器，三端环形器的一端与微波源相连，另一端与三销钉调配器相连，三端环形器侧面与等离子体负载相连，三销钉调配器与等离子体放电室相连，等离子体放电室上设置有进气口，等离子体放电室与第一真空罐连接，光学探头设置在第一真空罐或第二真空罐内，光学探头与光谱仪相连；本发明的等离子体温度密度光学测试校准解决了等离子体温度密度难以测量校准的问题。
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公开(公告)号：CN118102567B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410357581.8
申请日：2024-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提出了一种等离子体温度密度光学测试校准装置及校准方法，属于航天等离子体光学测试校准领域，包括校准装置包括光谱仪、光学探头和ECR等离子体源，ECR等离子体源包括微波源、微波传输系统、微波反应腔和等离子体负载，微波传输系统包括三销钉调配器和三端环形器，三端环形器的一端与微波源相连，另一端与三销钉调配器相连，三端环形器侧面与等离子体负载相连，三销钉调配器与等离子体放电室相连，等离子体放电室上设置有进气口，等离子体放电室与第一真空罐连接，光学探头设置在第一真空罐或第二真空罐内，光学探头与光谱仪相连；本发明的等离子体温度密度光学测试校准解决了等离子体温度密度难以测量校准的问题。
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