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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110856331A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911123708.5
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN111315106A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010203562.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本申请提供了一种等离子体发生器校准系统。所述等离子体发生器校准系统包括：第一真空校准系统，所述第一真空校准系统用于校准标准量传装置以及标准探针；第二真空校准系统，所述第二真空校准系统与所述第一真空校准系统连通，其内设置有待校准等离子体发生器；其中，所述第二真空校准系统用于使用经过所述第一真空校准系统校准后的标准量传装置对所述待校准等离子体发生器进行校准。采用本申请的等离子体发生器校准系统，通过第一真空校准系统以及第二真空校准系统的组合，满足校准的同时，提供了一种高效的等离子体校准与舱室压力调节形式，在保证设备易用性、经济性的前提下，提升校准平台在校准电推进器过程的效率与灵活性。
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公开(公告)号：CN115389797A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211059539.5
申请日：2022-08-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种交直流叠加电压源，包括：交流扰动信号模块，用于生成交流扰动信号；运算放大器模块，具有第一输入端、第二输入端、输出端；MOS管模块，包括一个MOS管或并联的多个MOS管；直流电源，用于提供直流电压；分压电阻模块。MOS管模块与分压电阻模块串联在直流电源的正负极之间，MOS管模块的源极连接到直流电源的正极，MOS管模块的漏极连接到分压电阻模块，运算放大器模块的输出端连接到MOS管模块的栅极，用于驱动MOS管模块，MOS管模块的漏极连接到运算放大器模块的第二输入端，MOS管模块和运算放大器模块构成负反馈回路，交流扰动信号模块生成的交流扰动信号被输入到运算放大器模块，经运算放大器放大后输入到MOS管模块的栅极。
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公开(公告)号：CN115389797B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202211059539.5
申请日：2022-08-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种交直流叠加电压源，包括：交流扰动信号模块，用于生成交流扰动信号；运算放大器模块，具有第一输入端、第二输入端、输出端；MOS管模块，包括一个MOS管或并联的多个MOS管；直流电源，用于提供直流电压；分压电阻模块。MOS管模块与分压电阻模块串联在直流电源的正负极之间，MOS管模块的源极连接到直流电源的正极，MOS管模块的漏极连接到分压电阻模块，运算放大器模块的输出端连接到MOS管模块的栅极，用于驱动MOS管模块，MOS管模块的漏极连接到运算放大器模块的第二输入端，MOS管模块和运算放大器模块构成负反馈回路，交流扰动信号模块生成的交流扰动信号被输入到运算放大器模块，经运算放大器放大后输入到MOS管模块的栅极。
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公开(公告)号：CN112683165A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011431061.5
申请日：2020-12-07
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种摄影测量标准尺和图像采集设备标定系统。标准尺包括尺身，在尺身的两端各设有一个凸凹结构的立体标志点，立体标志点用于对标准尺进行标定；系统包括摄影测量标准尺和多自由度调节支撑架。本发明改进了标准尺结构，将传统粘贴的标志点改为立体标志点，解决了标准尺只能通过光学方法溯源到线纹标准的问题，使其可以通过接触式测量溯源至端度最高标准量块，使标定精度提高一个数量级，标定结果可靠，且在提高精度的同时，简化了标定过程标准尺放置与调节过程，保证了标定数据的丰富性、可重复性和可复现性，进而提高了溯源准确性。
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