基于激光加工的多形态螺旋机器人制备系统

    公开(公告)号:CN119057213A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202411459975.0

    申请日:2024-10-18

    Abstract: 一种基于激光加工的多形态螺旋机器人制备系统,属于螺旋机器人制备技术领域。本发明针对现有螺旋机器人加工材料和形态结构受限,影响其驱动能力的问题。包括采用螺旋机器人定位平台固定载体使其水平,通过使载体转动及与热风机配合的方式在载体上形成预配置材料的均匀涂层;调节螺旋机器人定位平台,使涂层待加工区域处于激光加工器加工范围内,并使激光加工器的出射光束聚焦于待加工区域;根据预设置机器人结构参数同步控制激光加工器和载体转动速度,对待加工区域进行减料制造加工,在载体上获得初始螺旋机器人;在无水乙醇中通过超声的方式将初始螺旋机器人由载体取下并进行磁化,获得预期形态螺旋机器人。本发明用于螺旋机器人的制备。

    具有力感知能力的柔性神经电极植入系统及方法

    公开(公告)号:CN114947868B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202110210436.3

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 一种具有力感知能力的柔性神经电极植入系统及方法,属于电极植入技术领域。本发明针对现有神经电极在植入过程中,由于不具备对生物组织的精细感知辨别能力而影响植入精度的问题。系统包括:致动机构连接固定机座,固定机座垂直连接石英晶振,石英晶振的水平下臂末端垂直连接准直钨丝,水平上臂末端连接平衡部;准直钨丝的轴向与致动机构的驱动方向平行;信号生成与采集模块的驱动电压输出端连接石英晶振的一个引脚,石英晶振的另一个引脚连接信号生成与采集模块的反馈电压输入端;信号处理模块采用动态接触力学模型计算获得准直钨丝受到的交互作用力。本发明通过力感知能力实现柔性神经电极的低创准确植入。

    开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法

    公开(公告)号:CN111398638B

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202010238378.0

    申请日:2020-03-30

    Abstract: 基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法,属于开尔文探针力显微镜测量技术领域。本发明是为了解决现有开尔文探针力显微镜不能实现半导体元器件上微纳三维结构的侧壁表面形貌和表面电势的测量的问题。它设计了新的正交探针结构,然后利用正交探针的扭转信号测量具有微纳米级三维结构样品侧壁的表面形貌和局部表面电势;方法中步骤一实现样品侧壁表面形貌的测量,步骤二和步骤三实现样品侧壁表面电势的测量,步骤四实现样品侧壁表面的成像测量。本发明用于实现微纳三维结构的样品侧壁表面形貌和局部表面电势的测量。

    具有集成式传感针尖的柔性神经电极辅助植入系统及方法

    公开(公告)号:CN114947869A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202110211149.4

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 一种具有集成式传感针尖的柔性神经电极辅助植入系统及方法,属于电极植入技术领域。本发明针对现有神经电极在植入过程中由于不具备对生物组织的精细感知辨别能力而影响植入精度的问题。系统包括:导杆设置于封装外壳内;导杆外表面设置引线镀层作为电连接端;致动机构依次连接导杆、石英晶振和微针,微针末端延伸至封装外壳以外;石英晶振的两个引脚分别连接两个电连接端;信号生成及采集模块的驱动电压输出至石英晶振的一个引脚,并由石英晶振的另一个引脚获得反馈电压;信号处理单元采用动态接触力学模型根据信号生成及采集模块输出的驱动电压以及采集的反馈电压,计算获得微针受到的交互作用力。本发明能够对生物组织的微结构实现静谧感知。

    原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法

    公开(公告)号:CN113391096A

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN202110648272.2

    申请日:2021-06-10

    Abstract: 一种原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法,属于材料物理特性标定技术领域。本发明针对由幅频曲线计算出的探针动态性能参数存在误差的问题。包括:由探针在空气中的幅频特性曲线得到探针的共振频率和品质因子;再结合探针在自由状态下的动力学方程和简谐振动的位移方程,得到磁驱动线圈在扫频频率范围内任一频率与选定频率磁场等效驱动力的比值,从而得到磁场强度比值与驱动频率的关系曲线来修正目标探针在液体中进行恒电压振幅磁驱动扫频振动获得的幅频特性曲线,利用修正后液体中幅频特性曲线进行目标探针动态性能的精确标定。本发明用于探针动态性能的标定。

    采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法

    公开(公告)号:CN106841687A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710093432.5

    申请日:2017-02-21

    CPC classification number: G01Q60/30 G01Q60/24 G01Q60/28

    Abstract: 采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法,涉及表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量技术,目的是为了解决传统的开尔文探针力显微镜无法实现样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的同步表征的问题。本发明的导电探针始终保持上下往复移动,在一个运动周期内,导电探针和样品之间的最大相互作用力达到设定值对应的时间点为B点,在B点测量表面形貌图像;电探针从样品表面脱离时为C点,在B点和C点之间利用DMT模型得到等效杨氏模量图像;导电探针和样品脱离后继续上升至设定高度并保持一段时间,在该时间段内测量导电探针和样品之间的表面电势差。本发明适用于样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量。

    基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法

    公开(公告)号:CN104062466A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201410310642.1

    申请日:2014-07-01

    Inventor: 谢晖 杨锋

    Abstract: 基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法,涉及采用AFM对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的技术。它为了解决传统AFM很难实现对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的问题。本发明在原有的原子力显微镜的基础上增加了探针架,使探针能够绕X轴方向旋转,此外还增加了样品台在XZ扫描平面内的距离伺服控制程序,使样品台能够沿Y方向上接近探针针尖,并达到用户所设定的距离。本发明能够根据不同的样品选择合适的探针旋转角,在不破坏样品的前提下,实现对样品侧壁表面进行扫描成像和表征度,从而实现对不同的样品侧壁表面精确表征。本发明适用于微纳米结构表面表征,亦可用于微纳制造及测试领域。

    基于差动杠杆原理的柔性铰链定位装置

    公开(公告)号:CN102501227B

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201110393208.0

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 基于差动杠杆原理的柔性铰链定位装置,它涉及一种大行程高分辨率微驱动定位装置,以克服现有柔性铰链定位平台存在大行程下高分辨率较难达到的缺点。第一杠杆、第二杠杆、第一输入平台、第二输入平台和输出平台均设置在杠杆致动腔内,第一杠杆与杠杆壳体内壁通过第一柔性铰链连接,第一输入平台与第一杠杆通过第二柔性铰链连接,第二杠杆与第一输入平台通过第三柔性铰链连接,第二输入平台与第二杠杆通过第四柔性铰链连接,输出平台与第二杠杆通过第五柔性铰链连接,输出平台与杠杆壳体内壁通过第六柔性铰链和两个第七柔性铰链连接,第一致动器驱动第一输入平台,第二致动器驱动第二输入平台。本发明用于亚毫米级运动行程的精密定位。

    MEMS高温压力传感器自动键合方法

    公开(公告)号:CN100372088C

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200610009745.X

    申请日:2006-02-27

    Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合;自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上,加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上,显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量,实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业;融合视觉/微力觉信息,实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运;设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力,提高了生产效率。

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