公开(公告)号：CN112959311A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN202110205992.1

申请日：2021-02-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谢晖 ,  张号 ,  毛立阳 ,  田陈堯

IPC: B25J9/10 ,  B25J7/00

Abstract: 一种基于多级电磁铁的高频强磁场发生装置及磁场控制方法，属于执行器驱动技术领域。本发明为解决现有磁场发生装置产生的磁场不可控且工作空间大小不可调整的问题。装置包括四个磁场发生单元沿圆周方向依次间隔90°排布；每个磁场发生单元包括底座和两个电磁铁模块，两个电磁铁模块在底座上呈镜像对称设置，两个电磁铁模块天顶角的取值范围为45°～60°；八个电磁铁模块两两相对，并且四对电磁铁模块的轴线相交于一点；采用梯形丝杠、螺母、T型轴承座、联轴器和步进电机构成调整机构，可调整磁场内部空间的大小。本发明可以驱动各类型的微执行器。

公开(公告)号：CN110747433B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201911046706.0

申请日：2019-10-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 闫永达 ,  毛立阳 ,  曹永智 ,  耿延泉 ,  王桐

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  G02B1/10

Abstract: 一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接，多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合，每个隔离圈均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体扣合设置在支撑管上，每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接，多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置，异形靶材中部设有空腔，异形靶材的外形为柱状，异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧，水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接，异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应，镀制的薄膜均匀性可以保证，异形靶与多面共体反射镜之间无需运动，缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。