模块化电极大气等离子体加工含微结构碳化硅密封环方法

    公开(公告)号:CN103231418B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201310177067.8

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 模块化电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法,它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一:圆盘形电极架的面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔;步骤二:待加工碳化硅密封环类零件装在地电极上;步骤三:薄片形电极模块的下端面都靠近待加工表面;步骤四:预热;步骤五:通入混合气体,启动射频电源;步骤六:控制薄片形电极模块的运动轨迹;步骤七、取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面要求比较高的、加工难度比较大的、需要多个工序才能完成加工的密封环类零件表面进行先均匀的大去除、然后局部修琢的小去除、最后刻蚀微结构的高精度、高效率的加工。

    大气等离子体加工含微结构的碳化硅密封环类零件的装置

    公开(公告)号:CN103264414B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201310177074.8

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置,它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的圆盘形电极架的上端面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔,当薄片形电极模块安装在圆盘形电极架上的安装孔时,薄片形电极模块与圆盘形电极架的直径所在直线共线,根据待加工面型的要求选择薄片形电极模块的个数;每片薄片形电极模块的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面。本发明能对那些表面要求比较高的、加工难度比较大的、需要多个工序才能完成加工的密封环类零件表面进行先均匀的大去除、然后局部修琢的小去除、最后刻蚀微结构的高精度、高效率的加工。

    大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置

    公开(公告)号:CN103264414A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310177074.8

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置,它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的圆盘形电极架的上端面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔,当薄片形电极模块安装在圆盘形电极架上的安装孔时,薄片形电极模块与圆盘形电极架的直径所在直线共线,根据待加工面型的要求选择薄片形电极模块的个数;每片薄片形电极模块的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面。本发明能对那些表面要求比较高的、加工难度比较大的、需要多个工序才能完成加工的密封环类零件表面进行先均匀的大去除、然后局部修琢的小去除、最后刻蚀微结构的高精度、高效率的加工。

    单电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法

    公开(公告)号:CN103236393A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310177076.7

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 单电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一:圆盘形电极架外圆面上竖直设置有一片薄片形电极;步骤二:待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上;步骤三:薄片形电极的下端面靠近待加工表面;步骤四:预热射频电源和混合等离子体气源;步骤五:通入混合气体,启动射频电源;步骤六:控制薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间;步骤七:取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面微结构形状比较复杂的、不规则的尤其是在圆周方向上不具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。

    一种带有内螺旋磨削液供给通道的磨削电主轴

    公开(公告)号:CN115781522B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202211693884.4

    申请日:2022-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种带有内螺旋磨削液供给通道的磨削电主轴,所述磨削电主轴包括磨削主轴、气体静压前轴承和气体静压后轴承,其中:所述磨削主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构,磨削主轴在轴向开设有极细中心通孔和螺旋流道;所述气体静压前轴承为筒状结构,套设在磨削主轴的上部;所述气体静压后轴承为上部设置有环状凹槽的筒状结构,套设在磨削主轴的下部;所述环状凸缘位于环状凹槽内部。本发明采用极细中心通孔配合螺旋通道来供给磨削液并与磨削主轴做为一体,降低主轴转动过程中磨削液产生的离心力对轴承转子的影响并避免了另外加设磨削液供给轴带来震动影响精度,提高轴承的稳定性。

    一种气体静压平板双面平行度测量仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN116294978A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310302902.X

    申请日:2023-03-24

    Abstract: 一种气体静压平板双面平行度测量仪及其测量方法,属于超精密检测技术领域。电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ关于盘型零件上下对称设置,且位于气浮转台同一侧,电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ的中心线位于同一平面。对气浮转台供气,待盘形零件平稳运行后,电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ同步采集数据,可以得到盘型零件与中心轴线距离为r的某一处环面的精度,改变r的值,生成多组数据,对整个盘形零件的上下两面平行度和两面的平面度进行综合分析。本发明避免了传统接触式测量时接触力等对测量精度的影响,电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ在气浮转台工作时,同时进行数据采集,将采集到的数据反馈至电脑进行处理,这种测量方式更易于实现自动化。

    用于柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统误差补偿方法

    公开(公告)号:CN116197733A

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202310223715.2

    申请日:2023-03-09

    Abstract: 用于柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统误差补偿方法,属于超精密加工技术领域。所述方法包括以下步骤:S1、分析柱面菲涅尔五轴机运动链,建立所述五轴机床运动学模型和机床误差模型;S2、利用傅里叶幅值敏感性分析方法,分析五轴机床的15项位置无关几何误差对柱面菲涅尔形状精度的敏感性,找到对加工影响最大的若干项几何误差,S3、采用千分表和试切法对几何误差进行辨识,测量得到几何误差值;S4、提出五轴机床误差补偿迭代算法,对各轴运动量进行误差补偿。本发明的方法实现了柱面菲涅尔结构超精密加工的切削系统的误差补偿,以保证柱面菲涅尔加工的精度和刚度。

    一种分段供气的表节流式气浮主轴轴承

    公开(公告)号:CN115978090A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202310055752.7

    申请日:2023-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种分段供气的表节流式气浮主轴轴承,所述表节流式气浮主轴轴承包括主轴转子、前气浮轴承和后气浮轴承,其中:所述主轴转子为中部设置有环状凸缘的阶梯轴;所述前气浮轴承和后气浮轴承套设在主轴转子上;所述前气浮轴承的下部设置有环状凹槽,环状凸缘位于环状凹槽内;所述主轴转子与轴套之间设置有环形孔缝且相邻孔缝之间相互连通,所述环形孔缝纵剖面均呈阶梯状结构,所述轴套分段设置有供气流道和出气流道。本发明采用分段供气的方法能够避免流体延周向流动的压力梯度发变化导致的环向流,提高轴承的承载能力,同时台阶表面节流能够使转子工作更平稳,实现较高回转精度,且无需额外节流器极大提高装配效率和可靠度。

    一种可复用的多孔质材料渗透率测试夹具

    公开(公告)号:CN115839911A

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202211662296.4

    申请日:2022-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种可复用的多孔质材料渗透率测试夹具,所述夹具包括具有一容置空间的分体式壳体,其中:所述分体式壳体包括上壳体和下壳体,上壳体固定在下壳体上;所述上壳体为上部设置有环状出气空间且下部设置有环状凹槽的圆柱状结构;所述下壳体为上部设置有环状进气空间且下部设置有进气通孔的圆柱状结构;所述进气通孔的上端与环状进气空间连通,进气通孔的下端与供气系统相连。本发明采用上下分体装夹的结构,实现被测材料及夹具的重复使用,降低成本的同时提高了测试效率,并且保证了被测材料两侧与气体有效接触面积相同,提高了测试结果的准确性。

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