公开(公告)号：CN103681900A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310726455.7

申请日：2013-12-25

Applicant: 厦门大学

Inventor： 陈朝 ,  陈蓉 ,  范宝殿

IPC: H01L31/0264 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0288 ,  H01L21/2252 ,  H01L21/268 ,  H01L31/1804

Abstract: 一种Ni掺杂晶硅中间带材料及其制备方法，涉及晶体硅。所述Ni掺杂晶硅中间带材料的载体为晶体硅，在晶体硅中掺杂Ni杂质，Ni元素在晶体硅中的浓度大于5.9×1019cm-3，掺杂Ni杂质形成杂质中间带。使用磁控溅射法或蒸发镀膜法在硅片表面制备一层Ni薄膜；使用一维线型连续激光对Ni薄膜进行激光辐照；用氢氟酸溶液对激光辐照后的硅片进行腐蚀后，得Ni掺杂晶硅中间带材料。Ni掺杂晶硅中间带材料能明显提高红外光谱的吸收，提高少子寿命，使用该材料制备的中间带电池能明显提高太阳能电池对红外部分太阳光的利用率，减少电池的发热，提高电池效率，成本低，制作快速简便。