一种分析α-Ga2O3生长情况的氢化物气相外延系统及方法

    公开(公告)号:CN117912611A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410090348.8

    申请日:2024-01-23

    Abstract: 本发明公开了一种半导体材料技术领域的分析α‑Ga2O3生长情况的氢化物气相外延系统及方法,其包括对氢化物气相外延系统进行三维建模得到三维腔体模型;对三维腔体模型进行网格划分;将网格划分文件导入计算流体力学仿真软件,设定三维腔体模型的边界条件和材料参数,并选定计算模型和求解器;设置求解器控制参数,利用求解器对仿真反应过程进行迭代求解,得到计算结果;根据计算结果对α‑Ga2O3生长情况进行分析,得到α‑Ga2O3生长情况的分析结果。本发明通过对氢化物气相外延系统进行三维网格建模,分析其流场和反应物分布,并深入研究壁面温度等生长参数对生成物质量及均匀性的影响,进而对实现大面积均匀外延提供优化参数。

    一种手持可变光衰减器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102129099A

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN201110094777.5

    申请日:2011-04-15

    Abstract: 一种手持可变光衰减器涉及一种基于压控形变效应的由变焦液体透镜构成的光衰减器结构,以主体套管(1)为主体,主体套管(1)位于左连接器管脚(2)和带外螺纹的右连接器管脚(3)之间并与左连接器管脚(2)和右连接器管脚(3)相连接,出射光纤准直器(13)的一端从外部穿过左连接器管脚(2)位于主体套管(1)内的空腔中,接收光纤准直器(14)的一端从外部穿过右连接器管脚(3)位于主体套管(1)内的空腔中,主体套管(1)内的空腔中设有顶角可调的棱镜,形成具有“出射光纤准直器(13)+顶角可调的棱镜+接收光纤准直器(14)”的结构;所述的透明弹性膜(5)可设有增透膜以减少光强的其他损失。左右管脚内侧表面设置有吸收层(8)以吸收杂散光。

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