公开(公告)号：CN119124289B

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411242713.9

申请日：2024-09-05

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 王振军 ,  岳彦君 ,  姜波 ,  周同 ,  苏岩

IPC: G01F1/692 ,  C23C16/40 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法，结构主要包括：包括基板、薄膜、测温元件、面内热电制冷元件和芯片引脚；薄膜关于基板中心对称；测温元件左右对称地分布在薄膜内；面内热电制冷元件上下对称地跨置于薄膜与基板的交界处；面内热电制冷元件和测温元件的电信号通过基板四周的芯片引脚与外界相连；钝化层覆盖在结构上表面；在制造过程中，测温元件和面内热电制冷元件通过MEMS工艺实现。硅基板背面经过深硅刻蚀处理，采用硅基板正面的二氧化硅材料作为刻蚀停止层，形成具有良好机械性能的薄膜结构。本发明的结合了热敏式流量计的高灵敏度与无可动结构的优点，有效避免了因加热被测介质而产生的问题。

公开(公告)号：CN118960707A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411031349.1

申请日：2024-07-30

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 周同 ,  王新元 ,  苏岩 ,  周怡 ,  余卓林 ,  姜波 ,  张晶 ,  王振军 ,  白宏阳

IPC: G01C19/5719

Abstract: 本发明公开了一种基于机电幅度调制技术的MEMS四质量陀螺仪驱动电路系统，包括信号检测电路、模数转换电路、数字频率控制电路、数字幅值控制电路、乘法器和数模转换电路；信号检测电路与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的检测电极相连；模数转换电路与信号检测电路相连；模数转换电路分别与数字频率控制电路、数字幅值控制电路相连；乘法器分别与数字频率控制电路和数字幅值控制电路相连；数模转换电路与乘法器相连，且与MEMS四质量陀螺仪驱动模态的驱动电极相连。本发明将机电幅度调制技术应用于MEMS四质量陀螺仪的信号检测电路中，可以有效消除馈通效应和噪声耦合对MEMS四质量陀螺仪性能的影响。