一种基于氧气等离子体蚀刻的PS小球循环刻蚀工艺

    公开(公告)号:CN113921392A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111033626.9

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于氧气等离子体蚀刻的PS小球循环刻蚀工艺,包括如下步骤:对衬底进行清洗干燥;在衬底上沉积单层PS小球;将其置于氧气等离子体蚀刻机的真空腔室内,设定相关工艺参数;预设单位蚀刻周期为连续的15秒氧气等离子体激发时间与30秒停止激发时间,使用的单位蚀刻周期的数量为N,蚀刻总时长T=N*15秒;取出衬底,蒸镀金属层,进行有机溶剂清洗和干燥处理,完成模板转移后,可用于微纳结构的制造。本发明解决了传统PS小球蚀刻过程中PS小球易融化所导致的PS小球光刻易失效、模板转移困难、PS小球残留物难以祛除等系列难题,通过实现高质量PS小球蚀刻工艺,来实现更为复杂精细的微纳结构制造。

    一种激光功率计结构
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111551249A

    公开(公告)日:2020-08-18

    申请号:CN202010601532.6

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 本发明公开一种激光功率计结构,包括激光功率计单元,该激光功率计单元包括自下而上依次设置的基板、绝缘层、金属弹性形变层;本发明的激光功率计结构基于光力效应,并通过平板电容结构实现对激光功率的测量,光力效应不需要能量吸收过程,功率测量更具及时性;本发明的激光功率计结构通过高反射镜,能有效的利用测量激光,实现在正常工作过程中对激光功率的实时监控。

    一种宽谱多频点无损药液检测装置

    公开(公告)号:CN120009192A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510505651.4

    申请日:2025-04-22

    Abstract: 本发明提供了一种宽谱多频点无损药液检测装置,包括多路可调制激光模块、光纤耦合器模块、MEMS‑SPI光谱传感器模块、锁相放大器模块和主控处理模块;多路可调制激光模块用于发射的不同波长调制的近红外光信号;光纤耦合器模块与多路可调制激光模块连接,用于对多路可调制激光模块发射的不同波长调制的近红外光信号进行合束处理;光纤耦合器模块上连接有待测药液夹具;本发明对多个近红外波段的光源闪烁频率进行调整,通过波长匹配分子共价键,频率匹配分子质量的方式对进行药液同一时间的宽谱多频点无损检测。

    一种多波段宽频自扫频药物分辨装置

    公开(公告)号:CN118315922A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410414318.8

    申请日:2024-04-08

    Abstract: 本发明公开一种多波段宽频自扫频药物分辨装置,属于半导体激光领域;一种多波段宽频自扫频药物分辨装置包括:DFB激光器控制驱动系统和激光吸收分辨系统,DFB激光器控制驱动系统发出处理后的激光穿过药液,并由激光吸收分辨系统接受分辨;所述DFB激光器控制驱动系统包括:驱动电路、射频选择输出器、光滤波模块、主控模块、电流滤波模块、监控模块以及DFB激光器组;驱动电路与DFB激光器组和射频选择输出器连接,DFB激光器组与监控模块连接,监控模块与射频选择输出器连接,射频选择输出器与光滤波模块和主控模块连接,主控模块与电流滤波模块连接;所述激光吸收分辨系统包括:依次连接的激光探测器、电流‑电压转换器、锁相放大器、AD转换模块以及主控制器,锁相放大器包括依次连接的差分放大器、解调器、低通滤波器。

    一种新型的混频多波段DFB激光器驱动系统

    公开(公告)号:CN116316053A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310374862.X

    申请日:2023-04-10

    Inventor: 刘向 姜杨 陶治

    Abstract: 本发明公开了半导体激光技术领域的一种新型的DFB激光器控制驱动系统,包括驱动电路、射频选择输出器、光滤波模块、主控模块、电流滤波模块、监控模块和DFB激光器组,驱动电路与DFB激光器组和射频选择输出器连接,DFB激光器组与监控模块连接,监控模块与射频选择输出器连接,射频选择输出器与光滤波模块和主控模块连接,主控模块与电流滤波模块连接。本发明系统对不同波长的DFB激光器实现精准稳定的驱动控制,可有选择的打开某一路的激光信号输出通道;首先滤除光信号中的干扰波长与噪声,再次去除输出信号中的低频信号,保证了输出信号的准确性;实现了电路系统与上位机的数据通信,可以实时显示电路系统的各种数据,及时进行分析处理。

    一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN114582991A

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202210162068.4

    申请日:2022-02-22

    Abstract: 本发明提供一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法,包括:基底;设置在基底底部的传感电极、量子点层和底部填充层;所述基底顶部设有第一反射层和第一驱动电极;与所述第一反射层相对地设有第二反射层,所述第二反射层设置在支承梁底部,所述支承梁底部还设有第二驱动电极,所述支撑梁与两侧的悬臂梁连接,所述悬臂梁通过键合层与所述基底连接;所述第一反射层、第二反射层与之间的空气间隙构成法布里‑珀罗干涉腔。本发明还提供了上述芯片的制备方法。本发明的传感芯片直接集成量子点紫外传感与变间隙法布里‑珀罗干涉滤波腔,工艺成本低,集成度高,方便作为微型紫外光谱仪应用于手机、可穿戴便携设备的紧凑空间使用。

    一种高灵敏度易启动的晶体管型光电探测器

    公开(公告)号:CN119997632A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510483685.8

    申请日:2025-04-17

    Abstract: 本发明提供了一种高灵敏度易启动的晶体管型光电探测器,包括基底,所述基底上设置有栅极,所述栅极上包裹有绝缘层,所述绝缘层上设置有有源层,所述有源层包括铟镓锌氧薄膜、二维二硒化钨层和硒化铅薄膜;所述硒化铅薄膜的左端设置有源极,右端设置有漏极。本发明可以克服铟镓锌氧薄膜与硒化铅薄膜的晶格缺陷问题,提高了光电子器件的光电流的同时也提高了灵敏度,保证优秀的导电性的同时也提供了良好的稳定性,提高了光电子器件整体的性能。这一光电晶体管有着高灵敏度、易启动的显著特点,适用范围广。

    电栅自卷积硫化铅量子点夹层的硒化铅薄膜光电晶体管

    公开(公告)号:CN118315470A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410414314.X

    申请日:2024-04-08

    Abstract: 本发明公开电栅自卷积硫化铅量子点夹层的硒化铅薄膜光电晶体管,属于光电晶体管技术领域;光电晶体管包括基底,基底上设置有栅极,栅极上包裹有绝缘层,绝缘层上设置有有源层,有源层包括两层硒化铅薄膜以及包裹在二者之间的硫化铅量子点层;硒化铅薄膜的右端设置有源极,绝缘层和有源层之间的左端设置有漏极;栅极采用电栅形式,利用栅极电压与光电反应的关系模型与卷积神经网络模型,内部形成卷积核,用算法测试验证卷积核,利用卷积神经网络模型构建样本校正,用算法测试验证,实现对光的寻址,提高了光电晶体管的准确性;且该光电晶体管具有较好的偏振敏感和宽光谱响应特性。

    基于GeSe二维纳米材料红外光谱探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114709291A

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202210345928.8

    申请日:2022-03-31

    Abstract: 本发明公开一种基于GeSe二维纳米材料红外光谱探测器及其制备方法,属于红外光谱探测器器件领域,该红外光谱探测器包括基底上利用泼墨打印形成的栅极电极,绝缘层,源漏电极,二维纳米材料层,半导体有源层,本发明能够感知宽光谱红外信号并且将光信号转化为电信号,结合机器学习的方法来进行光谱的分光识别和处理,代替了传统光谱传感器利用光栅进行分光,所用的二维纳米GeSe片在红外波段感光性强,提高了光谱传感器灵敏度,此外该材料构成的传感器靶面与读出电路匹配,器件的集成度高。

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