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公开(公告)号：CN2761576Y
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200420057831.4
申请日：2004-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题；并采用了应力平衡技术，利用二氧化硅薄膜的压应力来平衡氮化硅薄膜的张应力，可以获得具有较低应力的复合薄膜。
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