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公开(公告)号：CN110797419B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201911035464.5
申请日：2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域，具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。本发明探测器自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层；所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成，所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属，所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。本发明通过调节叉指结构阵列的几何结构参数实现可见光到红外光的特定波长吸收，具有偏振探测能力，提高传统胶体量子点探测器探测灵敏度，能够应用于红外探测领域，并与新型探测材料胶体量子点相结合，形成了集成化，功能一体化的新型红外探测器。
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公开(公告)号：CN108267482A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201711418037.6
申请日：2017-12-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法，属于气体探测领域，钽酸锂窄带气体探测器，包括从下至上的下电极、钽酸锂晶片、金背板、介质层和天线阵列，所述天线阵列为多个呈阵列分布的天线，用于吸收光；所述介质层，用于使吸收的光产生共振得到电磁能量；所述金背板，用于将电磁能量转换成焦耳热；所述钽酸锂晶片，用于吸收焦耳热释放正负电荷；所述下电极，用于吸收负电荷；所述金背板，还用于吸收正电荷；探测器根据正负电荷得到电信号，根据电信号实现对气体浓度和种类的探测。本发明具有波长选择性、能够检测多种气体、同时探测多种气体时成本低且易封装。
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公开(公告)号：CN107340063A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710488564.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号：CN113155286B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110386548.4
申请日：2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。
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公开(公告)号：CN110797419A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911035464.5
申请日：2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于偏振相关窄带探测器领域，具体涉及一种叉指电极结构偏振相关窄带探测器、其制备和应用。自下而上包括衬底、金属背板、二氧化硅层、叉指电极结构阵列层以及胶体量子点层；其中所述叉指电极结构阵列层由若干个叉指电极单元结构纵横排列构成，所述叉指电极单元结构包括中空结构以及中空结构两侧的条形金属，所述中空结构包括两端的中空条形结构以及中间的中空增宽结构。叉指电极结构阵列上产生的局域表面等离激元共振效应与谐振腔的共同作用使得特定波长光能量逐渐被转化吸收殆尽，由探测材料胶体量子点转化为电信号，提高该偏振相关窄带探测器对光的吸收率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107340063B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710488564.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号：CN114199383A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111404460.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于等离激元复合微腔的热电堆窄带探测器及其制备方法，属于热红外探测领域。本发明采用介质材料作为微腔，共振主要存在于微腔中，解决了以往采用金属材料而带来的损耗问题，大大提升了吸收曲线的Q值，提升了探测效率，并且能够在近中红外波段范围内实现对特定波段的窄带热探测。将等离激元复合微腔与热电堆结合，通过调整等离激元复合微腔的尺寸大小，实现可调控的窄带吸收；同时结合现今热电堆的成熟工艺，采用标准的半导体加工工艺，可实现本发明中热电堆红外窄带探测器的规模化集成化生产，简化了热探测器工艺流程，大幅度降低制造成本。
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公开(公告)号：CN113155286A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110386548.4
申请日：2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。
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公开(公告)号：CN110927094B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201911161561.9
申请日：2019-11-20
Applicant: 华中科技大学 , 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明公开了一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法，属于红外气体传感器技术领域。该传感器包括光电探测器、MEMS红外光源、上层硅片、下层衬底和信号处理ASIC芯片；所述上层硅片和下层衬底键合形成气室，气室内蒸镀有反射层，硅片键合面上分布有气体扩散槽；所述光电探测器、MEMS红外光源和信号处理ASIC芯片设于所述气室上部，在所述上层硅片上开设有分别对准所述光电探测器和MEMS红外光源的光电探测器窗口和红外光源窗口，MEMS红外光源发出的光从红外光源窗口入射至所述反射层，发生多次反射后进入光电探测器。本发明利用MEMS工艺实现了NDIR气体传感器的进一步微型化、全集成，并提高了灵敏度。
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公开(公告)号：CN110927094A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911161561.9
申请日：2019-11-20
Applicant: 华中科技大学 , 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明公开了一种微型化全集成NDIR气体传感器及其制备方法，属于红外气体传感器技术领域。该传感器包括光电探测器、MEMS红外光源、上层硅片、下层衬底和信号处理ASIC芯片；所述上层硅片和下层衬底键合形成气室，气室内蒸镀有反射层，硅片键合面上分布有气体扩散槽；所述光电探测器、MEMS红外光源和信号处理ASIC芯片设于所述气室上部，在所述上层硅片上开设有分别对准所述光电探测器和MEMS红外光源的光电探测器窗口和红外光源窗口，MEMS红外光源发出的光从红外光源窗口入射至所述反射层，发生多次反射后进入光电探测器。本发明利用MEMS工艺实现了NDIR气体传感器的进一步微型化、全集成，并提高了灵敏度。
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