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公开(公告)号：CN102208350A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110129985.4
申请日：2011-05-19
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/336 , H01L21/311
Abstract: 本发明公开了一种选择性湿法刻蚀制备内嵌碳纳米管的沟槽结构的方法，该方法在氧化硅衬底上直接生长或分散碳纳米管；然后在碳纳米管上沉积钯金属膜；用腐蚀溶液刻蚀碳纳米管下的氧化硅后，在衬底上得到内嵌碳纳米管的沟槽结构。本发明不受光刻条件限制，可在室温下快速制备内嵌碳纳米管纳米尺度沟槽，并可将碳纳米管准确定位在沟槽的底部。本发明工序简单，效率高、成本低，而且随着碳纳米管制备技术的日益改进，可实现大规模、大面积的内嵌有碳纳米管微纳米尺度的沟槽。
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公开(公告)号：CN102709332B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201210153652.X
申请日：2012-05-17
Applicant: 北京大学
IPC: H01L29/861 , H01L29/06 , H03K19/08
Abstract: 本发明提供了一种基于石墨烯的二极管器件及其逻辑单元的结构，属于纳米尺度器件的结构以及加工方法。本发明二极管结构为一宽度沿延展方向渐变的三角形单层石墨烯纳米结构，或宽度沿延展方向一宽一窄两个矩形相连的单层石墨烯纳米结构，对该单层石墨烯纳米结构进行n型或p型掺杂。本发明可根据所需要的器件的功能设计石墨烯图形以实现特定的能带结构。本发明进一步提供了二极管器件组成的基本的逻辑门进而可以形成整个逻辑电路。
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公开(公告)号：CN102360028B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110255657.9
申请日：2011-08-31
Applicant: 北京大学
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔，属于近场光学仪器制造领域。该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室。扫描室内设有扫描头，在扫描室的顶部设有顶部法兰，顶端法兰上设置了5个法兰口和升降杆。其中3个法兰口连接包括扫描台、粗逼近马达，音叉以及温度监控等部件的电子线路进出真空腔室的电极法兰；2个法兰口连接包括照明光纤和针尖光纤两路光纤转接法兰。本发明低温近场光学显微镜的扫描头部分可以从真空腔室中独立取出，使得针尖光纤可以在真空腔室外更换。
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公开(公告)号：CN102426269B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110255669.1
申请日：2011-08-31
Applicant: 北京大学
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜，属于近场光学仪器制造领域。该显微镜设有真空腔室，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，扫描头的光路包括照明光纤、针尖光纤和扫描控制电子线路，照明光纤与真空腔室外部的激光器连接，针尖光纤与外部的光谱仪和光电倍增管连接，光谱仪和光电倍增管与扫描控制器连接，扫描控制电子线路与扫描控制器连接。本发明制备出高效的低温扫描近场光学显微镜。
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公开(公告)号：CN102426270B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201110258114.2
申请日：2011-09-02
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统，属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管，粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱，石英三棱柱的中心设有通孔，照明光纤穿过该通孔，光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面，光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜，针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方，针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出，通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。本发明无须再外加开放光路，使得真空腔体里光路调节简化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102623508A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210113271.9
申请日：2012-04-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯场效应晶体管及其制备方法，该场效应晶体管包括柔性衬底，在所述柔性衬底上设有源漏电极，以及连接源漏电极的石墨烯材料，在石墨烯材料上设有一裹着介质层的氧化锌纳米线，所述石墨烯材料作为沟道，所述氧化锌纳米线作为栅电极。本发明压电场效应晶体管通过施加外力来控制晶体管的工作状态。施加外力的方法有多种，可以人为手动施加，或通过超声的方法施加以及可以通过生物组织的振动(如心脏的跳动等)来施加。
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公开(公告)号：CN102593347A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210063670.9
申请日：2012-03-12
Applicant: 北京大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/22 , B82Y15/00
Abstract: 本发明公开了一种基于心肌细胞的氧化锌纳米线的发电机及制备方法，该发电机结构包括一衬底，在衬底上设有沟槽，在沟槽的开口处固定有绝缘胶带，在绝缘胶带上面等间距淀积若干个氧化锌种子层，氧化锌种子层的一侧和上方淀积金属阻挡层，氧化锌纳米线横向设在两个相邻的金属阻挡层之间，所述沟槽中设有单个或多个心肌细胞。本发明利用生物组织(比如心肌细胞)来驱动纳米发电机进行发电。由于心肌细胞等生物组织具有兴奋伸缩功能，通过这一伸缩过程来给氧化锌纳米线提供外力，驱动纳米发电机工作。
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公开(公告)号：CN102082159B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010522990.7
申请日：2010-10-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种基于石墨烯的纳米尺度点光源及其制备方法，属于纳米尺度的发光装置。该纳米尺度点光源是在大气、室温条件下利用石墨烯薄膜和金属电极电连接实现的，具体是：石墨烯薄膜与金属电极呈十字交叉，或石墨烯薄膜搭接在两个金属电极上，形成电学接触，石墨烯薄膜和金属电极接触处形成石墨烯–金属结，在石墨烯–金属结上施加偏置电压，石墨烯–金属结上构成纳米尺度的单点或多点发光光源。本发明的点光源可以在室温、大气环境下稳定工作，无需通常光源所需的真空装置。本发明可应用于微纳光电集成系统、纳米集成光路、高分辨显示、量子信息技术。同时利用石墨烯薄膜柔软特性，可在柔软衬底上实现光电器件和电路、显示器或集成系统。
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公开(公告)号：CN102034845A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010526919.6
申请日：2010-10-30
Applicant: 北京大学
IPC: H01L27/15
Abstract: 本发明提供了一种基于石墨烯的纳米尺度点光源的阵列，属于纳米尺度的发光装置。该点光源的阵列包括一衬底，在衬底上覆盖有一绝缘介质层、金属互连线埋于该介质层中，介质层上方为金属电极阵列，金属互连线连接金属电极阵列中的每个电极，在金属电极阵列上铺设一层石墨烯薄膜，在金属电极和石墨烯薄膜上施加一偏置电压；或者在金属电极阵列中两相邻电极上铺设一层石墨烯薄膜，在此相邻电极对之间施加一偏置电压。本发明制造工艺可与硅基加工技术兼容、集成度高，能大幅提高光源辐照范围和光强，可以作为显示阵列或者存储单元阵列，应用于高分辨率显示装置或信息存储系统。
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公开(公告)号：CN103224232B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310143368.9
申请日：2013-04-23
Applicant: 北京大学
IPC: C01B31/04
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯纳米孔洞的制备方法，属于薄膜材料微纳加工领域领域。该方法采用化学气象沉积法(CVD)在金属铜薄膜上制备石墨烯，利用石墨烯表面本征的缺陷结构制备石墨烯纳米孔洞，其孔径大小可为几纳米至数百纳米。该石墨烯纳米孔洞具有精度高、孔洞深度在单原子水平、便于化学修饰、可导电、使用寿命长、成本低廉等诸多优点。本发明将在单分子检测、电化学操控、生物识别等领域具有较大应用。
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