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公开(公告)号:CN109461753A
公开(公告)日:2019-03-12
申请号:CN201811266665.1
申请日:2018-10-29
Abstract: 本发明公开了一种大注入倒装微米LED芯片及其制备方法。本发明首先通过图形化掩埋及控制电子束蒸发、光刻等过程,最终在芯片内实现并联的倒装结构,使得大注入电流均匀的扩展到阵列内每个LED终端,再将芯片与导热基底进行焊接,大大提升高功率芯片的散热性能;总线加梳状结构解决了在P型透明电极上电流的扩展均匀性问题;环绕模式的大面积N型电极,解决了电流均匀性问题以及散热问题;LED芯片与散热基板之间采用共晶焊接方式,散热并提高焊接过程中衬底与芯片之间焊接的工艺可控性;P型透明电极与N型电极设计成共面波导结构,以提高微米LED芯片在可见光通信的带宽。
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公开(公告)号:CN108615795A
公开(公告)日:2018-10-02
申请号:CN201810257305.9
申请日:2018-03-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提出了一种微米LED芯片内互联的实现方法,属于光电子高功率发光器件技术领域。利用本发明既实现了LED芯片的高压高功率特性,且避免了后续封装时对大量微米级芯片集成的困难,进而降低了对封装设备和工艺的要求,可以大幅度提高微米LED的器件性能。本发明既结合了微米LED大注入优良特性,同时又降低了制备难度,对微米LED用于各种新兴产业具有重要的实用及指导意义。
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