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公开(公告)号：CN106537574A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580040567.4
申请日：2015-07-21
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
Abstract: 提供能够将容器本体内的空气效率良好地置换为基板用保护气体的基板收纳容器。具备：容器本体1，其能够收纳多片半导体晶片W；供气阀，其对容器本体1内供给吹扫气体；以及气体置换单元40，其将来自供气阀的吹扫气体吹出到容器本体1内，将容器本体1形成为前方开口盒并将供气阀装配于其底板6的后部，由贮留来自供气阀的吹扫气体的壳体41、以及覆盖壳体41的开口了的正面42的盖52构成气体置换单元40，将壳体41的下部以吹扫气体流通的方式连接于供气阀，并且使容器本体1的背面壁18支撑壳体41的上部，在壳体41和盖52中的任一者穿孔将吹扫气体向容器本体1的正面2方向吹出的多个吹出孔55。
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公开(公告)号：CN104520984A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380011256.6
申请日：2013-04-01
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: H01L21/673 , B65D81/24 , B65D85/86
CPC classification number: H01L21/67393 , H01L21/67366
Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器，其在被清洁后，也能够长时间将内部封闭空间的相对湿度维持在低湿度。上述基板收纳容器(1)中，作为区划内部封闭空间(3)的构成部件的外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的构成材料，是一种吸水率在0.1重量百分数以下的特殊构成材料，上述吸水率是在23℃的水中经过24小时浸泡后测定所得。从而，按照JIS K7209规格，或者ISO62规格的标准，使外壳主体(2)、门(4)以及开闭阀(8)的水分放出抑制能力能够满足客观的现实需求，显著地抑制水分自上述构成部件释放至内部封闭空间3中。
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公开(公告)号：CN116134256A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202180062597.0
申请日：2021-06-30
Applicant: 信越聚合物株式会社
Inventor： 小川统
IPC: F16K15/14
Abstract: 本发明提供一种具备提高组装作业性的阀体的基板收纳容器。基板收纳容器具备阀体40，其控制气体相对于容器主体10的流通；其中，阀体40具有：弹性阀瓣体45，其具有使与外部连通的第一通路458和与内部连通的第二通路459连通的阀瓣开口454；以及保持部件41，其保持弹性阀瓣体45；以及紧固帽47，通过将其插入至弹性阀瓣体45，从而将弹性阀瓣体45固定于保持部件41；其中，阀瓣开口454通过弹性阀瓣体45的弹性力密接而关闭。
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公开(公告)号：CN114270492A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080058736.8
申请日：2020-08-07
Applicant: 信越聚合物株式会社
Inventor： 小川统
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , B08B5/02
Abstract: 本发明提供一种清洗液不易残留于供气机构的基板收纳容器。基板收纳容器于前表面侧具有开口，于底面包括供气机构，其中，所述供气机构包括：导入通路，从底面侧接收气体；以及止回阀，配置于在沿着底面的水平面内的与导入通路不重合的位置，以及流路，从导入通路朝向止回阀供给气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111247632A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201880068270.2
申请日：2018-09-18
Applicant: 信越聚合物株式会社
Inventor： 小川统
IPC: H01L21/673 , B65D85/30
Abstract: 本发明提供一种基板收纳容器，其具备：容器主体(2)，其在前表面具有由开口框(2a)形成的开口部，并且能够收纳两片以上的基板(W)；以及盖体，其封闭开口部；其中，容器主体(2)是包含开口框(2a)、背面壁(2b)、右侧壁(2c)、左侧壁(2d)、顶面壁(2e)以及底面壁(2f)的箱状，各壁(2b～2f)为，前表面的开口框(2a)侧的壁厚比背面壁(2b)侧的壁厚薄(t1>t2>t3>t4)。由此，提供一种能够提高容器主体的尺寸稳定性的形状的基板收纳容器。
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公开(公告)号：CN102939254A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201180010091.1
申请日：2011-02-14
Applicant: 信越聚合物株式会社
IPC: B65D85/86 , B65D85/00 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67396
Abstract: 提供一种基板收纳容器，其能够抑制容器主体和盖体等带电而吸附颗粒，从而防止颗粒对基板的污染。该基板收纳容器具备：容器主体（1），其收纳半导体晶片（W）并利用左右成对的支承片（2）支承半导体晶片（W）；拆装自如的盖体（10），其开闭容器主体（1）的开口的正面；以及接口部（40），其配设于容器主体（1）和盖体（10），并与加工装置的装载端口装置（31）连接，在盖体（10）开闭容器主体（1）的开口的正面的情况下，盖体（10）定位连接于装载端口装置（31），容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）分别由导电性材料形成，使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内，以抑制颗粒随着容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）带静电而附着于容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）。
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公开(公告)号：CN102792435A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012344.9
申请日：2011-02-24
Applicant: 信越聚合物株式会社
Inventor： 小川统
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
CPC classification number: H01L21/67379
Abstract: 提供一种使运送零件相对于容器主体的安装机构的安装作业的作业性提高、能够将运送零件容易从安装机构脱落的可能性排除、抑制在安装机构及运送零件上残留清洗水等液体的基板收存容器。一种基板收存容器，在半导体晶片收存用的容器主体（1）的顶棚（2）上设置安装机构（20），在安装机构（20）上拆装自如地安装作为运送零件（30）的机器人凸缘（31），安装机构（20）具备在顶棚（2）上成对设置的多对支承轨道（21）、设在顶棚（2）上的多个导引片（23）、和形成在各导引片（23）上的干涉卡合部（24），将导引片（23）和干涉卡合部（24）组合，将其前部形成为两股部（25）。此外，运送零件（30）具备支承在多对支承轨道（21）间的零件主体（32），在零件主体（32）上穿孔流体用的流通口（36），并且内置与两股部（25）干涉的可弹性变形的弹性卡合片（35）。
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公开(公告)号：CN101855716A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115139.3
申请日：2008-10-30
Applicant: 信越聚合物株式会社
Inventor： 小川统
IPC: H01L21/673 , B65D85/86
CPC classification number: H01L21/67369
Abstract: 本发明提供一种保持器和基板收纳容器，其抑制了伴随基板的旋转而产生的污染和损伤，缓和作用于基板的冲击，能够防止基板脱离或破损的可能，而且能够使将带保持器的盖体安装到容器主体的作业变得容易。保持器(20)由以下部分形成：装配在基板收纳容器的盖体(10)的背面中央部(13)上的框体(21)；从该框体(21)的一对对置件(22)突出并相互接近的一对第一弹性件(29)；以及支承于该一对第一弹性件(29)的弯曲的自由端部(30)并用于保持半导体晶片(W)的第二弹性件(31)。另外，相比于第一弹性件(29)的自由端部(30)，第二弹性件(31)的外侧端部(32)位于靠框体(21)的对置件(22)的外侧，在该第二弹性件(31)上隔开间隔地分别排列有保持半导体晶片(W)的前部周缘的多个第一、第二保持部(33、34)，第二保持部(34)的位置比第一保持部(33)靠第二弹性件(31)的外侧端部(32)侧。
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