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公开(公告)号：CN107422608A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710350096.8
申请日：2017-05-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/70833 , G02B7/026
Abstract: 本发明涉及保持装置、光刻设备和制品制造方法。一种保持装置，构造成使用多个设置在光学元件的外周部处的保持部将光学元件保持到基座部件上的，其中多个保持部包括多个构造成以六个自由度地保持光学元件的第一保持部和构造成约束在六个自由度之中的光学元件的光轴方向上的自由度的第二保持部，并且其中由多个第二保持部用于约束光学元件的光轴方向上的自由度的力大于用于约束其它自由度的力。
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