光电转换器件的制造方法
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101609813B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200910151873.1

    申请日:2007-08-02

    Abstract: 本发明公开光电转换器件的制造方法,该器件包括:光电转换区域,具有多个光电转换元件和响应每个光电转换元件的电荷读取信号的第一MOS晶体管;外围电路区域,具有驱动第一MOS晶体管和/或放大从光电转换区域读取的信号的第二MOS晶体管,光电转换区域和外围电路区域位于同一半导体衬底上。该方法包括:形成第一和第二MOS晶体管的栅电极;用栅电极作为掩模注入第一导电类型杂质离子;形成绝缘膜以覆盖光电转换区域和外围电路区域;在通过掩模保护光电转换区域上的绝缘膜时,通过回蚀刻去除外围电路区域上的绝缘膜,并形成第二MOS晶体管的侧面间隔件;用光电转换区域上的绝缘膜和侧面间隔件作为掩模,注入第一导电类型杂质离子。

    固态图像传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN102244084A

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN201110119054.6

    申请日:2011-05-10

    Inventor: 渡边高典

    CPC classification number: H01L27/14689 H01L27/14641 H01L27/14643

    Abstract: 本发明公开了固态图像传感器的制造方法,该制造方法用于制造在基板上具有像素的传感器,各像素包含光电转换器、电荷-电压转换器和用于形成用于将光电转换器中的电荷传送到电荷-电压转换器的沟道的栅极,该方法包括:将离子注入到基板的要形成光电转换器的目标区域内的步骤,其中,该步骤被执行N次,在步骤中的每一个中,离子沿相对于基板表面的法线具有倾斜角的方向被注入,注入离子的目标区域在各步骤中不同,并且,对于各步骤,在基板上形成对于每N个像素具有开口的掩模,多个开口沿表面和由法线和该方向确定的平面之间的交线的方向周期性布置。

    图像拾取装置和图像拾取系统

    公开(公告)号:CN103579274B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201310345012.3

    申请日:2013-08-09

    Abstract: 公开了图像拾取装置和图像拾取系统。一种图像拾取装置,包括:其中排列像素的像素部分,像素各自包括把信号电荷作为多数载流子的第一导电型的第一半导体区域,和把信号电荷作为少数载流子的第二导电型的第二半导体区域,第二半导体区域邻接到第一半导体区域,第一半导体区域被布置在第二半导体区域和半导体衬底的表面之间。像素部分包括位于基准触点附近的第一类像素和第二类像素。半导体衬底的表面和第一类像素的第二半导体区域之间的距离小于半导体衬底的表面和第二类像素的第二半导体区域之间的距离。

    光电转换装置和光电转换装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102301473B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201080006217.3

    申请日:2010-01-26

    Inventor: 渡边高典

    CPC classification number: H01L27/1463 H01L27/1464 H01L27/14689

    Abstract: 一种光电转换装置(100)包括:被设置在半导体基板(SB)中的多个光电转换单元(PD);和被设置在半导体基板中的隔离部(103、104、105、106)。各光电转换单元包含:第二半导体区域(107);被设置在第二半导体区域之下的第三半导体区域(109)和被设置在第三半导体区域之下的第四半导体区域(102),并且,各隔离部包含:被设置在比半导体基板的表面更深的位置并且至少在第二半导体区域的侧方延伸的包含第一导电类型杂质的第五半导体区域(104);和被设置在第五半导体区域之下并且至少在第三半导体区域的侧方延伸的包含第一导电类型杂质的第六半导体区域(105),并且,包含于第五半导体区域中的杂质的扩散系数比包含于第六半导体区域中的杂质的扩散系数低。

    光电变换装置及其制造方法和摄像系统

    公开(公告)号:CN101369594B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200810166297.3

    申请日:2004-12-10

    Abstract: 本发明提供光电变换装置及其制造方法和摄像系统。作为本发明特征的构成是具有第一导电型的半导体基板和光电变换元件的光电变换装置,所述光电变换元件备有设置在包含多个导电型与第一导电型相反的第二导电型的杂质区域的阱内的第一导电型的杂质区域,多个上述第二导电型的杂质区域至少包含第1杂质区域、比该第1杂质区域更配置在基板表面侧的第2杂质区域、和比该第2杂质区域更配置在基板表面侧的第3杂质区域,上述第1杂质区域的杂质浓度峰值的浓度C1、上述第2杂质区域的杂质浓度峰值的浓度C2和上述第3杂质区域的杂质浓度峰值的浓度C3满足下列关系:C2

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