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公开(公告)号：CN102470674B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080034835.9
申请日：2010-07-29
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1639
Abstract: 本发明提供一种液体排出头用基板的制造方法，液体排出头用基板包括第一面、产生将液体排出到与第一面相反的第二面的能量用的能量产生元件以及用于将液体供给到能量产生元件的液体供给口。所述方法包括：制备硅基板，该硅基板在第一面具有蚀刻掩模层，蚀刻掩模层具有与将要形成液体供给口的部分对应的开口，并且该硅基板具有设置于开口内的第一凹部和设置于第二面的将要形成液体供给口的区域中的第二凹部，第一凹部和第二凹部通过基板的一部分而彼此分离；以及从第一面的开口起通过结晶各向异性蚀刻来对硅基板进行蚀刻以形成液体供给口。
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公开(公告)号：CN102398423B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110262633.6
申请日：2011-09-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供了一种液体喷射头的制造方法，该方法包括以下的步骤：制备具有流路壁部件的基板；使流路壁部件与由光固化树脂构成并且用作喷射口部件的树脂层接合使得在内侧提供用作流路的空间；在树脂层中设置通孔，使得空间与外部空气连通；将树脂层的一部分曝光；加热树脂层的曝光部分；和从加热的树脂层去除未曝光部分以形成喷射口，由此在树脂层中形成喷射口部件。
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公开(公告)号：CN102381032A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110249416.3
申请日：2011-08-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1604 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提出一种制造液体排出头的方法，该方法包括：提供基板，变成流路壁部件的固体部件在该基板上被设置为包围变成流路的区域；在该区域内形成由金属或金属化合物制成的模子；设置由树脂制成的覆盖层以覆盖固体部件和模子；和去除模子以形成流路。
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公开(公告)号：CN106976316B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201710027199.0
申请日：2017-01-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
Abstract: 一种制造液体喷射头的方法，液体喷射头具有喷射口形成区域，喷射口形成区域包括：液体喷射能量生成元件，其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上；多个液体供给口，各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口；形成在第一表面上的液体路径，作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间；和喷射口，用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体，方法包括：用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件；在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件；在液体路径形成部件中形成液体路径；在喷射口形成部件中形成喷射口；基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔，每个假孔具有在基板第一表面处的开口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106976316A
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201710027199.0
申请日：2017-01-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
Abstract: 一种制造液体喷射头的方法，液体喷射头具有喷射口形成区域，喷射口形成区域包括：液体喷射能量生成元件，其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上；多个液体供给口，各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口；形成在第一表面上的液体路径，作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间；和喷射口，用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体，方法包括：用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件；在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件；在液体路径形成部件中形成液体路径；在喷射口形成部件中形成喷射口；基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔，每个假孔具有在基板第一表面处的开口。
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公开(公告)号：CN104669795A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410697215.3
申请日：2014-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645
Abstract: 一种液体排出头的制造方法，其包括：转印工序，其中，将由支撑构件支撑的干膜转印到具有孔的基板；和剥离工序，其中，将所述支撑构件从所述基板上的所述干膜剥离。在所述剥离工序中，所述干膜与限定所述基板中的所述孔的壁面接触。
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公开(公告)号：CN103171288A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210576369.8
申请日：2012-12-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B44C1/227 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1643 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种用于喷墨头基板的处理方法，包括：在基板上形成阻挡层并且在阻挡层上形成种子层；在种子层上形成抗蚀膜并且对抗蚀膜进行图案化以使得图案化后的抗蚀膜与用于将喷墨头电连接到喷墨头外部的盘部相对应；在图案化后的抗蚀膜的开口中形成盘部；去除抗蚀膜；对基板进行各向异性蚀刻以形成供墨口；去除阻挡层和种子层；以及从基板的表面进行激光处理。
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公开(公告)号：CN102470674A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080034835.9
申请日：2010-07-29
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1639
Abstract: 提供一种液体排出头用基板的制造方法，液体排出头用基板包括第一面、产生将液体排出到与第一面相反的第二面的能量用的能量产生元件以及用于将液体供给到能量产生元件的液体供给口。所述方法包括：制备硅基板，该硅基板在第一面具有蚀刻掩模层，蚀刻掩模层具有与将要形成液体供给口的部分对应的开口，并且该硅基板具有设置于开口内的第一凹部和设置于第二面的将要形成液体供给口的区域中的第二凹部，第一凹部和第二凹部通过基板的一部分而彼此分离；以及从第一面的开口起通过结晶各向异性蚀刻来对硅基板进行蚀刻以形成液体供给口。
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公开(公告)号：CN102398423A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110262633.6
申请日：2011-09-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供了一种液体喷射头的制造方法，该方法包括以下的步骤：制备具有流路壁部件的基板；使流路壁部件与由光固化树脂构成并且用作喷射口部件的树脂层接合使得在内侧提供用作流路的空间；在树脂层中设置通孔，使得空间与外部空气连通；将树脂层的一部分曝光；加热树脂层的曝光部分；和从加热的树脂层去除未曝光部分以形成喷射口，由此在树脂层中形成喷射口部件。
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