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公开(公告)号:CN113470844A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202110293440.0
申请日:2021-03-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G21G1/10
Abstract: 本发明提供一种能够提高基于冷却机构的冷却性能的靶装置。根据靶装置(100),靶容纳部(3)具有容纳靶液体(101)的第1区域(E1)及接收沸腾的靶液体的气液混合物(102)的第2区域(E2)。与此相对,冷却机构(4)具备至少冷却第1区域(E1)的第1冷却部(30A)及至少冷却第2区域(E2)的第2冷却部(30B)。而且,第2冷却部(30B)在第2区域(E2)形成从上方朝向下方的制冷剂的流动(图2的流动F2)。与直接使用第1冷却部30A中所使用的制冷剂时的冷却性能相比,能够提高基于从上方流向下方的制冷剂的冷却性能。
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公开(公告)号:CN110176323A
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910115856.6
申请日:2019-02-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G21G1/10
Abstract: 本发明提供一种提高放射性同位素的产量的放射性同位素制造装置。本发明的放射性同位素制造装置(1)具备:粒子加速器;第1靶部,从粒子加速器射出的带电粒子束射入并通过;及第2靶部,射入有通过了第1靶部的带电粒子束。在第1靶部(11)中,在射束通路(15)内保持有靶材(17),且具有向靶材(17)喷吹冷却气体的冷却气体供给部(51)。在第2靶部(12)中,靶基板(35)保持于射束轴(B)上,且靶基板(35)中带电粒子束的下游侧的面被冷却水冷却。射束轴(B)上的第1靶部(11)的靶箔(16)的总厚度比射束轴(B)上的第2靶部(12)的靶基板(35)的厚度小。
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公开(公告)号:CN103824972A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201310425075.X
申请日:2013-09-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H01L51/5262 , H01L51/56 , H01L2251/53 , H01L2251/56
Abstract: 一种能够提高光提取效率的有机EL元件的制造方法及有机EL元件。与第2区域(20B)对应的部分通过注入氧离子成为过氧化状态,成为不具有导电性的绝缘部(12B)。另一方面,由于第1区域(20A)中残留有抗蚀层(20),因此成为透明导电膜(12)被抗蚀层(20)覆盖的状态。因此,在该部分中,作为导电部(12A),以抗蚀层(20)的与第1区域(20A)对应的图案来进行图案形成。由此,在透明导电膜(12)上进行电性图案形成。另一方面,导电部(12A)及绝缘部(12B)由光学上相同的材料形成,因此能够成为在光学上未进行图案形成的状态,能够使提取光时的导电部(12A)与绝缘部(12B)之间的光学条件相近。
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