光致抗蚀剂用树脂组合物
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103069339B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180040734.7

    申请日:2011-08-23

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/0236

    Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其特别具有高耐热性、且具有良好的感光度、分辨率和高残膜性,其它特性也不劣于通用的光致抗蚀剂用树脂组合物。所述光致抗蚀剂用树脂组合物含有酚醛树脂、环状烯烃树脂以及含萘醌二叠氮基的化合物,优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂,该降冰片烯树脂优选具有酸性基团,特别是酚基,分子量为1000~500000道尔顿。

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