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公开(公告)号:CN105723507B
公开(公告)日:2018-07-24
申请号:CN201480059397.X
申请日:2014-10-30
Applicant: 京瓷株式会社
CPC classification number: H01L29/04 , B06B1/00 , B06B1/0603 , G06F1/1626 , G06F1/1656 , G06F1/203 , H01L21/441 , H01L21/465 , H01L41/00 , H01L41/0926
Abstract: 提供带金属体的蓝宝石结构体,其具有:蓝宝石结构体,其具有平坦面且在所述平坦面设置有凹部;和金属体,其被配置在所述凹部的内部且与所述凹部的内面接合,所述金属体具备与所述平坦面齐平的表面部分。由此,金属体难以从蓝宝石结构体剥离,且使其他构件无障碍地抵接在蓝宝石基板表面。
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公开(公告)号:CN114762090A
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202080082042.8
申请日:2020-11-24
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/46 , H01L21/31
Abstract: 本发明是被曝露于等离子体的面由{100}面的单晶钇铝石榴石(YAG)形成的耐等离子体性构件、以及使用了该耐等离子体性构件的等离子体处理装置用零件和等离子体处理装置。具有多个被曝露于等离子体中的面时,至少最被要求耐等离子体性的面由{100}面的单晶YAG形成。
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