-
公开(公告)号：CN110475915A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201880022552.9
申请日：2018-03-30
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 本发明的管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，具备：外壁，其沿轴向延伸；多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，所述轴向与蓝宝石的c轴平行，至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。
-
公开(公告)号：CN114762090A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202080082042.8
申请日：2020-11-24
Applicant: 京瓷株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/46 , H01L21/31
Abstract: 本发明是被曝露于等离子体的面由{100}面的单晶钇铝石榴石(YAG)形成的耐等离子体性构件、以及使用了该耐等离子体性构件的等离子体处理装置用零件和等离子体处理装置。具有多个被曝露于等离子体中的面时，至少最被要求耐等离子体性的面由{100}面的单晶YAG形成。
-
公开(公告)号：CN110475915B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201880022552.9
申请日：2018-03-30
Applicant: 京瓷株式会社
Abstract: 本发明的管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，具备：外壁，其沿轴向延伸；多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，所述轴向与蓝宝石的c轴平行，至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.019 seconds)
