公开(公告)号：CN212158499U

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN202020564296.0

申请日：2020-04-16

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 张树 ,  施玉书 ,  皮磊 ,  史舟淼 ,  高思田 ,  李伟 ,  李琪 ,  李适 ,  黄鹭

IPC: G01B11/30 ,  G01B5/14 ,  G01L1/26

Abstract: 本实用新型公开了一种垂直式表面粗糙度测头及表面粗糙度仪，垂直式表面粗糙度测头包括固定架、移动架、位移测量模块、针杆、触针和导向装置，移动架竖向滑动连接于固定架上，移动架上设置针杆，移动架的底板上设有导向装置，导向装置能够用于对针杆进行竖向导向以防止针杆摆动，针杆的底端固定设置有触针，针杆穿过导向装置，触针贯穿移动架的底板，位移测量模块用于测量针杆竖直方向上的移动距离；表面粗糙度仪包括架体、移动装置和上述的垂直式表面粗糙度测头。本实用新型中，触针与针杆在导向装置的作用下，测量过程中始终与工件表面垂直，操作简便、测量精准程度高。

公开(公告)号：CN211696278U

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202020562698.7

申请日：2020-04-16

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 施玉书 ,  张树 ,  皮磊 ,  史舟淼 ,  高思田 ,  李伟 ,  李琪 ,  李适 ,  黄鹭

IPC: G01B11/30 ,  G05D15/01

Abstract: 本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本实用新型通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利