公开(公告)号：CN113970560B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202111265665.1

申请日：2021-10-28

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 胡小川 ,  李梦凡 ,  赵远程 ,  侯溪 ,  全海洋

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01

公开(公告)号：CN218181182U

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202222057723.8

申请日：2022-08-05

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 赵远程 ,  胡小川 ,  李梦凡 ,  侯溪

IPC: G02B7/00 ,  G01N21/95

Abstract: 本实用新型公开了一种光学元件夹具，包括夹具座、第一装卡块、第二装卡块、第三装卡块、第四装卡块、紧定螺钉、顶丝及消光筒，所述夹具座上表面设置有滑动槽，所述滑动槽与装卡块通过紧定螺钉连接，所述装卡块可在滑动槽内调整位置，以适应不同口径的光学元件，所述装卡块顶部有顶丝孔，用以安装顶丝，所述顶丝与光学元件侧面接触，通过微调顶丝位置实现光学元件的稳固装卡与粗定心，所述消光筒放置于所述夹具座底部，该设计集光学元件定位、装夹、粗定心、杂散光消除等功能于一体，结构简单，操作方便，通用性强，可广泛应用于光学元件缺陷检测领域。

公开(公告)号：CN218481432U

公开(公告)日：2023-02-14

申请号：CN202222137755.9

申请日：2022-08-15

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 李梦凡 ,  胡小川 ,  赵远程 ,  侯溪

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型公开了一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，包括载物平台，用于放置待检测的光学元件；水平调整台，设置于载物平台下方；导轨移动机构，设置于水平调整台下方；第一升降机构和第二升降机构，固定于龙门架上；CCD检测模块，对所述光学元件进行快速扫描，获得表面缺陷位置信息；高精度检测模块，对所述光学元件表面缺陷进行精细检测，获取高分辨率缺陷图像；洁净罩，置于检测装置外部。本实用新型通过CCD检测模块获取所述光学元件表面缺陷位置信息，导轨移动机构根据位置信息移动载物台将缺陷置于高精度检测模块下方，获取所述光学元件高分辨率缺陷图像，最终实现光学元件表面缺陷高分辨率、定位检测，大大提高了检测精度和检测效率。