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公开(公告)号：CN105372798B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201510898112.8
申请日：2015-12-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B17/06
Abstract: 一种大能量反射式光衰减器，主要由高反镜、楔板、白片、平移台、扩束透镜、垃圾桶构成。本发明具有制作简单，操作方便的特点，可以有效地衰减数十焦耳量级的大能量重复频率的入射激光脉冲，不同波长的脉冲的衰减系数差别不大，衰减过程不会引入材料色散，不会对脉冲引入波前畸变，可减少对后续脉冲压缩和聚焦的影响。
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公开(公告)号：CN105161969A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510638614.7
申请日：2015-09-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种工作模式可切换的调Q激光振荡器及其调节方法，调Q激光振荡器主要由第一0°反射镜、第二0°反射镜、电光开关、偏振透-反射装置、激光增益介质和第一λ/4波片等部分所构成，该激光振荡器可以实现两种工作模式，并能在其运行状态下实现工作模式间的切换，拓展了调Q激光器的多功能性与可调节性。
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公开(公告)号：CN104914680A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510270184.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射-循环装置、LPP-EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射-循环装置而在LPP-EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP-EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP-EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。
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公开(公告)号：CN102545011B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210042435.3
申请日：2012-02-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种超强超短激光脉冲超连续谱的调控装置及其调控方法，利用一束激光G(t)经过可变衰减片和一个时间延迟线后，与经过可移动反射镜的另一束激光G(f)平行入射到一个凹面镜上，G(t)与G(f)经凹面镜反射后交叉聚焦。在激光成丝所产生的等离子体通道内，由于双光束干涉而形成一个空间等离子体光栅，利用该等离子体光栅能够增强成丝过程中所产生的超连续谱，并且可以实现超连续谱能量在两束激光之间的控制与转移。本发明装置和方法可以在超强激光场中对超短脉冲的光谱主动操控，且所涉及的光路结构简单，调节方便。
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公开(公告)号：CN113437621B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110671420.2
申请日：2021-06-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光时空啁啾脉冲放大系统，由激光种子脉冲源、脉冲时域展宽器、脉冲空间展宽器、可级联的啁啾脉冲放大器、脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器构成。由激光种子脉冲源输出种子脉冲，种子脉冲经脉冲时域展宽器展宽为时域啁啾脉冲，时域啁啾脉冲再经脉冲空间展宽器展宽为时空啁啾脉冲，然后通过一个或多个可级联的啁啾脉冲放大器对时空啁啾脉冲进行能量放大和光谱整形，经放大后的时空啁啾脉冲再依次经过脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器而被压缩为超短激光脉冲。该系统在时空啁啾脉冲放大过程中实现其光谱整形，可以有效抑制CPA系统中的光谱窄化和光谱红移，且避免了光谱滤波所造成的激光脉冲能量损耗及滤波装置适用条件的限制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113437621A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110671420.2
申请日：2021-06-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光时空啁啾脉冲放大系统，由激光种子脉冲源、脉冲时域展宽器、脉冲空间展宽器、可级联的啁啾脉冲放大器、脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器构成。由激光种子脉冲源输出种子脉冲，种子脉冲经脉冲时域展宽器展宽为时域啁啾脉冲，时域啁啾脉冲再经脉冲空间展宽器展宽为时空啁啾脉冲，然后通过一个或多个可级联的啁啾脉冲放大器对时空啁啾脉冲进行能量放大和光谱整形，经放大后的时空啁啾脉冲再依次经过脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器而被压缩为超短激光脉冲。该系统在时空啁啾脉冲放大过程中实现其光谱整形，可以有效抑制CPA系统中的光谱窄化和光谱红移，且避免了光谱滤波所造成的激光脉冲能量损耗及滤波装置适用条件的限制。
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公开(公告)号：CN112162466B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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公开(公告)号：CN111509549B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202010278955.9
申请日：2020-04-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/11
Abstract: 一种高峰值功率飞秒激光负/正啁啾脉冲级联放大系统，其特点在于该系统是以负啁啾脉冲放大为前端，以正啁啾脉冲放大为后端的混合式高峰值功率飞秒激光系统。系统包括，钛宝石锁模振荡器、负啁啾脉冲放大前端、脉冲净化装置、正啁啾脉冲放大后端。本发明不仅可以提升高峰值功率飞秒激光的对比度,而且在不引入高阶色散补偿元件的条件下，能够有效地补偿激光系统的残余四阶色散，最终实现对比度高于10‑12、脉宽为傅里叶变换极限值的高峰值功率飞秒激光输出。此外，本发明还能抑制了激光放大过程中的光谱红移，从而获得更宽的放大光谱和更短的傅里叶变换极限脉宽。
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公开(公告)号：CN112222609A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011001548.X
申请日：2020-09-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/066 , B23K26/03
Abstract: 本发明公开了一种高峰值功率激光焦点的定位方法，放大激光先经多孔掩膜完成能量衰减，衰减后的激光进入压缩器压缩，然后被离轴抛面镜聚焦，其焦点通过CCD直接定位。此方法不需要引入其他复杂的能量衰减光路，仅利用多孔掩膜就可以将高峰值功率激光的能量充分衰减，而且不改变激光聚焦特性，从而能够实现激光焦点的直接定位。此外，通过优化多孔掩膜中小孔的数量和直径，还能轻松实现不同程度的激光能量衰减。本发明具有经济高效，实用性强的特点。
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公开(公告)号：CN111509539A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010290709.5
申请日：2020-04-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/067
Abstract: 一种基于光谱滤波的光纤-固体宽带高信噪比激光放大系统，该系统包括飞秒光纤激光脉冲源、色散补偿装置、光谱展宽装置、光谱滤波装置和固体宽带激光放大装置，由飞秒光纤激光脉冲源产生飞秒激光脉冲，激光脉冲依次经色散补偿装置和光谱展宽装置而产生宽带激光脉冲，宽带激光脉冲经光谱滤波装置而产生宽带高信噪比的激光种子脉冲，宽带高信噪比的激光种子脉冲再进入固体宽带激光放大装置进行功率放大。利用该系统可以实现光纤-固体联合宽带激光放大，从而获得高峰值功率的高信噪比飞秒脉冲。
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