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公开(公告)号：CN105236965A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510539925.8
申请日：2015-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: C04B35/495 , C04B35/622
Abstract: 本发明属电子信息材料与元器件技术领域，为解决现有陶瓷材料介电常数不适于制备微波谐振器型无线无源温度传感器的问题，提供一种无线温度传感器用高介微波介质陶瓷及其制备方法。为铋基立方焦绿石结构，化学组成：Bi1.5+x(Mg0.8Co0.2)Nb1.5O7+1.5x(0.0≤x≤0.3)。溶胶-凝胶合成纳米粉体，分散造粒，造粒后的粉料装入模具中在油压机上双向干压成型，在马氟炉中排塑、常压烧结得陶瓷块体。具有高介电常数、介电常数对温度变化敏感的特点，符合微波谐振器型无线无源温度传感器利用陶瓷材料的介电常数随温度呈线性单调变化实现对环境温度测试的原理的要求，一类在无线温度传感领域非常有潜力的微波介质陶瓷材料。
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公开(公告)号：CN105158506A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510544653.0
申请日：2015-08-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明为一种光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器主要由外壳、光纤、加速度敏感元件、基座等构成，采用MEMS技术加工传感器的外壳、加速度敏感元件和基座，通过MEMS键合技术实现基座、加速度敏感元件和外壳的固定，光纤固定在光纤套管内，通过熔接技术实现光纤和外壳的固定。通过MEMS技术在加速度敏感元件的中央加工质量块，将光纤出光面和加速度敏感元件上的质量块平行放置构成法珀腔实现高灵敏度测量。本发明具有体积小、批量生产，一致性好，温度系数低，耐高温的优点，能够满足常规及特殊环境下的加速度测量。
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公开(公告)号：CN103674405A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310677236.4
申请日：2013-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明涉及HTCC高温压力传感器，具体是一种差动式HTCC无线无源高温压力传感器及其制造方法。本发明解决了现有HTCC高温压力传感器灵敏度低、测量范围小、以及非线性误差大的问题。差动式HTCC无线无源高温压力传感器包括第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片；第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片自上而下依次层叠成一体；第二生瓷片的上表面分别布置有固定电容上极板和圆形螺旋电感；第四生瓷片的上表面布置有活动电容极板；第六生瓷片的上表面布置有固定电容下极板。本发明适用于民用工业和国防军工领域中的压力测量。
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公开(公告)号：CN102324371B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110252650.1
申请日：2011-08-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室由两片完全相同的电极板重叠放置组成，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室的厚度为两片电极板厚度之和，电极板包括三个焊盘，三个焊盘上分别设有第一过孔、第二过孔、第三过孔，两片电极板的反面相接触，两片电极板通过分别在第一过孔、第二过孔、第三过孔内放置一个插针进行机械固定和电气连接，一个插针接偏置电极，一个插针接收集电极，另外一个插针接地。本发明保证了体积的足够小，又确保了足够的光路长度，使进入电离室内的气体被充分电离。
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公开(公告)号：CN102393249A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110288708.8
申请日：2011-09-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01J5/10
Abstract: 本发明公开的是一种基于晶片键合技术实现的热释电红外探测器及其制备方法。所述热释电红外探测器包括硅衬底(1)、硅衬底(1)表面的绝热层(2)、键合层(3)、热释电材料片(4)、上电极层(6)及红外吸收层(7)，其中所述硅衬底(1)的绝热层(2)和所述热释电材料片(4)在制备方法中通过所述键合层(3)键合在一起。本发明在热释电晶片与硅衬底结合的同时保证了原始晶片完整性，与同种热释电材料的薄膜热释电探测器相比，具有易加工、材料强度高、厚度容易实现、抵抗外界恶劣环境的影响能力较强、热散失轻等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101567120A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910074252.8
申请日：2009-04-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及瓦斯检测领域，具体是一种便携式红外瓦斯报警仪。解决了现有瓦斯红外检测装置的灵敏度和精度未能达到理想的要求等问题，该报警仪包括置于盒体内的检测单元、信号处理电路，盒体上设有功能按钮、显示屏、报警器、报警指示灯，盒体上开有与检测单元正对的通气孔；检测单元为内置有红外光源、红外探测器的集气罐，集气罐包含侧壁上开有通孔的筒体、分别固定于筒体两端的端盖，端盖的内表面为凹镜镜面，红外光源、红外探测器分别通过支撑体与两端盖的内表面固定，并处于端盖内表面凹镜镜面的焦点位置。检测单元结构简单、合理、紧凑，便于加工，便于随身携带，整个报警仪的灵敏度高、响应速度快、稳定性好、测量精度高，应用范围广。
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公开(公告)号：CN116534791B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310813740.6
申请日：2023-07-05
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00 , B81C99/00 , H01L21/3065 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及半导体芯片制造技术领域，具体是一种深盲孔均匀性刻蚀方法。包括：S1对测试硅片进行盲孔刻蚀，计算刻蚀速率；S2使用S1中的刻蚀速率对硅片分阶段进行盲孔刻蚀；S3在每个刻蚀阶段结束后分区域进行深度测量，S4在第二个刻蚀阶段结束后，分区域进行深度测量，若某一区域深度达到目标深度时，使用刻蚀遮挡物将该区域盲孔遮挡；若某一区域深度未达到目标深度时，进入步骤S5；S5调节刻蚀参数，继续对未达到目标深度的区域进行盲孔刻蚀；S6重复步骤S4‑S5，当硅片上所有区域的盲孔深度都达到目标深度后，停止刻蚀。本发明能够有效控制深盲孔刻蚀的刻蚀深度，提高刻蚀均匀性，并且能够监测刻蚀工艺。
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公开(公告)号：CN113340492A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110769704.5
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种光纤法珀压力传感器的敏感单元的批量化制备方法，包括以下步骤：准备第一石英片和第二石英片，对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面进行抛光；在第一石英片的上表面制作多个凹槽；在第一石英片的下表面，在与各个凹槽相应的位置制作与该凹槽共轴且与该凹槽连通的通孔；将第二石英片的上表面以覆盖多个凹槽的方式与第一石英片的上表面结合，形成层叠体；并且对层叠体的多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
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公开(公告)号：CN112744781A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201911039852.0
申请日：2019-10-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述了一种氧化镁密封腔的制备方法，其包括：准备工序，准备第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片；图案化工序，对第一氧化镁晶片的掩膜层进行光刻形成预定的图案；刻蚀工序，使用磷酸溶液对第一氧化镁晶片进行湿法刻蚀，并去除掩膜层；以及键合工序，对刻蚀后的第一氧化镁晶片的带有腔体的一面进行表面处理，对第二氧化镁晶片的一面进行表面处理，并将第一氧化镁晶片的第一键合面与第二氧化镁晶片的第二键合面直接键合，以形成由第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片组成的密封体。由此，能够提高这种密封体的密封性能，且利用氧化镁的优良力学性能和动力学特性使其能够很好地适应高温高压下的工作环境。
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公开(公告)号：CN107941390B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201711114757.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种光纤法珀传感器及其制造方法。其中，光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其沿着轴线方向设置在第一管体内，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其沿着轴线方向设置在第二管体内，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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