公开(公告)号：CN105806543A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201610317815.1

申请日：2016-05-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  熊继军 ,  梁庭 ,  洪应平 ,  陈晓勇 ,  房国成 ,  梁昊 ,  曹群

IPC: G01L11/02

CPC classification number: G01L11/025

Abstract: 本发明公开了一种光纤法珀高温压力传感器，包括传感头、光纤、玻璃管，所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片，玻璃基底底面设有一空腔，单抛硅片安装在空腔内，且底面与硅膜片的上顶面相连，硅膜片下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底顶面中部设有一圆形凸台，所述圆形凸台的中心处设有一通孔，所述玻璃管套接在光纤外，且玻璃管的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接，确保腔体处于密封真空环境。本发明耐高温、成本低廉，结构微小，并具有光纤珐珀传感器精度高，抗电磁干扰等的优点。

公开(公告)号：CN105158506A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510544653.0

申请日：2015-08-31

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  熊继军 ,  梁庭 ,  洪应平 ,  曹群 ,  房国成 ,  薛晨阳 ,  刘俊 ,  张文栋

IPC: G01P15/00

Abstract: 本发明为一种光纤MEMS法珀加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器主要由外壳、光纤、加速度敏感元件、基座等构成，采用MEMS技术加工传感器的外壳、加速度敏感元件和基座，通过MEMS键合技术实现基座、加速度敏感元件和外壳的固定，光纤固定在光纤套管内，通过熔接技术实现光纤和外壳的固定。通过MEMS技术在加速度敏感元件的中央加工质量块，将光纤出光面和加速度敏感元件上的质量块平行放置构成法珀腔实现高灵敏度测量。本发明具有体积小、批量生产，一致性好，温度系数低，耐高温的优点，能够满足常规及特殊环境下的加速度测量。

公开(公告)号：CN205664972U

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201620436519.9

申请日：2016-05-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  房国成 ,  梁昊 ,  曹群 ,  熊继军

IPC: G01L11/02

Abstract: 本实用新型公开了一种高温压力传感器，包括传感头、光纤、玻璃管，所述传感头包括玻璃基底、单抛硅片和硅膜片，玻璃基底底面设有一空腔，单抛硅片安装在空腔内，且底面与硅膜片的上顶面相连，硅膜片下端设有一深腔，所述传感头为方形，所述玻璃基底顶面中部设有一圆形凸台，所述圆形凸台的中心处设有一通孔，所述玻璃管套接在光纤外，且玻璃管的一端插入通孔与传感器、光纤实现固接，确保腔体处于密封真空环境。本实用新型耐高温、成本低廉，结构微小，并具有光纤珐珀传感器精度高，抗电磁干扰等的优点。