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公开(公告)号：CN108293291B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201680069682.9
申请日：2016-01-18
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/513
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，在本发明的活性气体生成装置中，金属电极(201H及201L)形成在电介体电极(211)的下表面上，在俯视时夹着电介体电极(211)的中央区域(R50)互相对置而配置。金属电极(201H及201L)将Y方向作为互相对置的方向。在电介体电极(211)的上表面的中央区域(R50)向上方突出而设置有楔形台阶形状部(51)。楔形台阶形状部(51)形成为随着俯视时靠近多个气体喷出孔(55)中的每个气体喷出孔，Y方向的形成宽度变短。
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公开(公告)号：CN105594307B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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公开(公告)号：CN108293291A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069682.9
申请日：2016-01-18
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/513
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，在本发明的活性气体生成装置中，金属电极(201H及201L)形成在电介体电极(211)的下表面上，在俯视时夹着电介体电极(211)的中央区域(R50)互相对置而配置。金属电极(201H及201L)将Y方向作为互相对置的方向。在电介体电极(211)的上表面的中央区域(R50)向上方突出而设置有楔形台阶形状部(51)。楔形台阶形状部(51)形成为随着俯视时靠近多个气体喷出孔(55)中的每个气体喷出孔，Y方向的形成宽度变短。
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公开(公告)号：CN110352474B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201780086342.1
申请日：2017-02-14
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/318
Abstract: 本发明的目的是提供能够在不对基板给予损害的情况下在基板上形成优质的氮化膜的氮化膜成膜方法。并且，本发明的氮化膜成膜方法包括：介由气体供给口(11)将硅烷系气体供给至处理室(10)内的步骤(a)；从自由基产生器(20)介由自由基气体通过口(25)将氮自由基气体(7)供给至处理室(10)内的步骤(b)；和在不使处理室(10)内产生等离子体现象的情况下，使上述步骤(a)中供给的硅烷系气体与上述步骤(b)中供给的氮自由基气体反应，在晶片(1)上形成氮化膜的步骤(c)。
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公开(公告)号：CN112334599A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201880094582.0
申请日：2018-06-25
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够实现装置结构的简化及小型化，并且能够抑制活性气体失活的现象的活性气体生成装置的结构。而且，本发明中，设置于电极单元基座(2)的气体通过槽(24)、高压电极用槽(21)及接地电极用槽(22)俯视呈螺旋状。高压电极(11)被埋入到高压电极用槽(21)中，接地电极(12)被埋入到接地电极用槽(22)中。高压电极(11)及接地电极(12)以夹着电极单元基座(2)的一部分及气体通过槽(24)而相互对置的方式配置于电极单元基座(2)内的气体通过槽(24)的两侧面侧，并被设置成与气体通过槽(24)一起在俯视观察时为螺旋状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105594307A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: H05H1/24 , C01B13/11 , H02M7/48 , H02M2007/4818 , H05H1/46 , H05H2001/4682 , Y02B70/1441 , Y02P20/121
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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公开(公告)号：CN103459307B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201180069523.6
申请日：2011-03-24
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J12/00 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统，其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)，并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且，本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59)，使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少，并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合，向多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN104105659A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201280069495.2
申请日：2012-08-30
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J35/004 , B01J35/02 , C01B2201/10 , C01B2201/20 , C01B2201/64 , C01B2201/70 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整器(71)输出的氧气和从混合气体流量调整器(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。
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公开(公告)号：CN111527796B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN201880084691.4
申请日：2018-01-10
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/50 , H05H1/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
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公开(公告)号：CN111527796A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201880084691.4
申请日：2018-01-10
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/50 , H05H1/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
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