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公开(公告)号：CN109477220B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201680087274.6
申请日：2016-06-28
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/505 , C01B13/11 , H05H1/24
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够喷出均匀性高的活性气体的活性气体生成装置。而且，关于本发明的电介质电极(21)，在中央区域(R51)中沿着X方向设置相互沿着X方向形成为2列结构的气体喷出孔(31)～(37)和气体喷出孔(41)～(47)来作为3个以上的多个气体喷出孔。而且，通过在气体喷出孔(31)和气体喷出孔(41)的形成位置设置X方向的差分，2列结构的气体喷出孔(31)～(37)和气体喷出孔(41)～(47)沿着X方向而气体喷出孔(3i)与气体喷出孔(4i)交替地配置。
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公开(公告)号：CN107075677B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201480083012.3
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/455 , B01J4/00 , H01L21/31 , H05H1/24
CPC classification number: B01J4/002 , B01J4/00 , B01J4/008 , C23C14/228 , C23C16/455 , C23C16/45565 , H01L21/31 , H05H1/24 , H05H1/2406 , H05H2001/2462
Abstract: 本发明提供一种即便在具有高纵横比的槽的被处理体上也能够向该槽内均匀地喷射气体的气体喷射装置。而且，本发明的气体喷射装置(100)具有向被处理体(202)喷射气体的气体喷射单元部(1)。气体喷射单元部(1)具有第一锥体形状构件(3)和第二锥体形状构件(2)。在第一锥体形状构件(3)的侧面与第二锥体形状构件(2)的侧面之间形成有间隙(do)。各锥体形状构件(2、3)的顶部侧与被处理体(202)相面对。
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公开(公告)号：CN107075676B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201480082990.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/455 , B01J4/00 , C23C16/503 , H01L21/31 , H05H1/24
CPC classification number: C23C16/45561 , B01J4/00 , C23C16/045 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/4551 , C23C16/45559 , C23C16/45563 , C23C16/4557 , C23C16/45572 , C23C16/45582 , C23C16/503 , C23C16/513 , H01L21/31 , H05H1/24
Abstract: 本发明提供即便在具有高纵横比的槽的被处理体上也能够向该槽内均匀地喷射气体的针对成膜装置的气体喷射装置。本发明的气体喷射装置(100)具备使气体整流化并将整流化后的气体向成膜装置(200)内喷射的气体喷射单元部(23)。气体喷射单元部(23)为在内部形成有成为气体通路的间隙(do)的扇形形状。气体分散供给部(99)内的气体从扇形形状的宽度较宽的一侧向间隙(do)内流入，由于该扇形形状，气体被整流化以及被加速，并从扇形形状的宽度较窄的一侧向成膜装置(200)内输出。
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公开(公告)号：CN110024088A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201680091290.2
申请日：2016-12-05
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。本发明通过在活性气体生成用电极组(301)的高压侧电极构成部(1A)与接地侧电极构成部(2A)之间形成的放电空间(66)的放电，将供给的原料气体活性化而生成活性气体。罩(31、32)的组合构造具有原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h)，该原料气体流路(31h、32h)将放电空间(66)与交流电压施加空间(R31)完全分离，且与交流电压施加空间(R31)独立，将从外部供给的原料气体引导至放电空间(66)。形成在金属框体(34)与罩(31、32)及电极构成部设置台(33)之间的框体接触空间(R34)与交流电压施加空间(R31)、放电空间(66)分别完全分离。
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公开(公告)号：CN109196959A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201680086092.7
申请日：2016-05-27
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够均匀性良好、比较高速地生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，本发明在活性气体生成用电极群及喷嘴构成部的下方设置气体喷流用整流器(70)而构成活性气体生成装置。气体喷流用整流器(70)将活性气体穿过多个喷嘴后的气体用气体整流通路(71)的入口部(711)一起接受。气体整流通路(71)形成为，出口部(710)的出口开口面积被设定为比入口部(711)的入口开口面积窄，并且通过由气体整流通路(71)进行的整流动作，多个喷嘴穿过后活性气体各自的圆柱状的气体喷流被变换为线状的整流后活性气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107079575A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083011.9
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使是大面积的被处理体也能够实施均匀的使用了自由基气体的处理的放电发生器及其电源装置。本发明所涉及的放电发生器及其电源装置(500)具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)和n相逆变器电源装置(9)。在处理室装置(200)相邻配置自由基生成装置(100)，自由基气体生成装置(100)具有多个(n个)放电单元(70)。n相逆变器电源装置(9)采用具有能够对n相的交流电压进行输出控制的手段的电源电路结构，对应于所述放电单元(70)的设置位置对各相的交流电压进行可变控制。
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公开(公告)号：CN103459308A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201180070004.1
申请日：2011-04-13
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/64 , C01B2201/66 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元，该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且，在本发明中，气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来，形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。
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公开(公告)号：CN112334599B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN201880094582.0
申请日：2018-06-25
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够实现装置结构的简化及小型化，并且能够抑制活性气体失活的现象的活性气体生成装置的结构。而且，本发明中，设置于电极单元基座(2)的气体通过槽(24)、高压电极用槽(21)及接地电极用槽(22)俯视呈螺旋状。高压电极(11)被埋入到高压电极用槽(21)中，接地电极(12)被埋入到接地电极用槽(22)中。高压电极(11)及接地电极(12)以夹着电极单元基座(2)的一部分及气体通过槽(24)而相互对置的方式配置于电极单元基座(2)内的气体通过槽(24)的两侧面侧，并被设置成与气体通过槽(24)一起在俯视观察时为螺旋状。
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公开(公告)号：CN108292603B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201680068427.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/455
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够以超过马赫的超高速向处理对象衬底供给气体的气体供给装置。并且，本发明的气体供给装置的气体喷出器(1)具有喷嘴部(10)。构成喷嘴部(10)的第一段限制筒(13)的开口部截面形状呈直径r1的圆形。第二段限制筒(14)沿着Z方向与第一段限制筒(13)连续地形成，开口部截面形状呈直径r2的圆形，将从第一段限制筒(13)供给的原料气体(G1)向下方的低真空处理腔(18)进行供给。这时，直径r2被设定为满足“r2>r1”。
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公开(公告)号：CN109196959B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201680086092.7
申请日：2016-05-27
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够均匀性良好、比较高速地生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，本发明在活性气体生成用电极群及喷嘴构成部的下方设置气体喷流用整流器(70)而构成活性气体生成装置。气体喷流用整流器(70)将活性气体穿过多个喷嘴后的气体用气体整流通路(71)的入口部(711)一起接受。气体整流通路(71)形成为，出口部(710)的出口开口面积被设定为比入口部(711)的入口开口面积窄，并且通过由气体整流通路(71)进行的整流动作，多个喷嘴穿过后活性气体各自的圆柱状的气体喷流被变换为线状的整流后活性气体。
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