公开(公告)号：CN110389607B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201910316601.6

申请日：2019-04-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 三森章祥 ,  山口伸

IPC: G05D23/20

Abstract: 本发明提供一种能够将电容耦合型的等离子体处理装置的上部电极冷却并且使该上部电极的温度在短时间上升的温度控制方法。一实施方式的温度控制方法包括冷却上部电极的步骤和使上部电极的温度上升的步骤。在上部电极内形成有具有入口和出口的流路。上部电极构成蒸发器。在流路的出口和入口之间依次连接有压缩机、冷凝器和膨胀阀。在压缩机的输出端与入口之间以绕过冷凝器和膨胀阀的方式连接有分流阀。在冷却上部电极的步骤中，经由压缩机、冷凝器和膨胀阀将制冷剂供给到流路。在使上部电极的温度上升的步骤中，打开分流阀并且加热上部电极。

公开(公告)号：CN112602178A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201980055992.9

申请日：2019-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山口伸 ,  三森章祥

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明例示性的实施方式的温度调节系统的热交换部进行利用致冷剂的热交换，设置于载置被处理体的载置台内，具有多个热交换室，多个热交换室的每个热交换室分别配置在设定于载置台的多个区域的每个区域，多个区域沿载置台的载置面设定，冷却装置使致冷剂在其与多个热交换室之间循环，温度检测装置具有多个温度检测器，多个温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个区域的每个区域，并分别配置在多个热交换室的每个热交换室与载置面之间。控制装置通过控制冷却装置来调节致冷剂的压力以使得载置台的温度达到第1温度范围之后，单独地调节对多个热交换室的每个热交换室供给的致冷剂的流量以使得多个温度检测器的所有检测温度达到该第1温度范围。

公开(公告)号：CN112602177A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201980055961.3

申请日：2019-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山口伸 ,  三森章祥

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的例示性的实施方式的温度调节方法包括：第1步骤，其调节载置被处理体的载置台的温度，载置台被划分为多个区域，具有多个温度检测器，多个区域沿载置台的载置面设定，多个温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个区域的每个区域，载置台具有进行利用致冷剂的热交换的多个热交换室，致冷剂通过冷却装置进行循环，多个热交换室的每个热交换室分别配置在多个区域的每个区域；第2步骤，其调节致冷剂的压力以使得载置台的温度达到第1温度范围；和第3步骤，其在第2步骤之后，单独地调节对多个热交换室的每个热交换室供给的致冷剂的流量以使得多个温度检测器的所有检测温度达到第1温度范围。

公开(公告)号：CN110164792A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201910096781.1

申请日：2019-01-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山口伸 ,  三森章祥

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明能够降低在对载置于载置台的表面的被处理体进行去热时每个部位的偏差。一实施方式的冷却系统包括：使制冷剂在载置台的载置面下循环，设置于载置台内的经由载置面利用制冷剂进行热交换的热交换部；和与热交换部连接的冷却单元，热交换部包括：用于贮存从冷却单元供给的制冷剂的贮存室；和使贮存于贮存室的制冷剂蒸发的蒸发室，贮存室与冷却单元连接且与蒸发室连通，蒸发室与冷却单元连接且沿着载置面的延伸并具有多个喷射口，喷射口配置成向蒸发室的内壁中位于载置面一侧的导热壁喷射制冷剂，从载置面上看时，多个喷射口在载置面内分散地配置。

公开(公告)号：CN109285754A

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：CN201810794360.1

申请日：2018-07-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 石川聪 ,  松浦淳 ,  三森章祥 ,  山口伸

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明检测制冷剂的泄漏。本发明一技术方案的处理装置包括：用于提供腔室的腔室主体；载置台，其支承载置于该载置台上的被处理体，在该载置台内部形成有制冷剂用的第一流路和与该第一流路连通的空间；第一配管，其具有第一端部和第二端部，第一端部被插入空间与第一流路连接，第二端部与制冷剂供给机构连接；和第一密封部件，其设置于第一端部与规定空间之边界的壁面之间的间隙，将该间隙密封。载置台内形成有具有一端和另一端的第二流路，第二流路的该一端与间隙连接，第一密封部件在第二流路的第一流路一侧与壁面接触。该处理装置还包括与第二流路的另一端连接的第二配管和与第二配管连接的检测装置。

公开(公告)号：CN108389824A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810106554.8

申请日：2018-02-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 有田毅彦 ,  三森章祥 ,  山口伸

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/32724 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明提供一种能够进行与热输入量的分布变化相对应的调温的技术。在一个实施方式的处理装置中，流动制冷剂的冷却台包含第一区域～第三区域和制冷剂的流路组，第一区域～第三区域沿冷却台上的静电吸盘的表面配置，第一区域配置在冷却台的中央，第二区域以包围第一区域的方式配置，第三区域以包围第一区域和第二区域的方式配置，流路组包括第一流路～第三流路，第一流路配置在第一区域，第二流路配置在第二区域，第三流路配置在第三区域，制冷剂的配管系统包括第一阀组和第二阀组，第一流路与第二流路之间和第二流路与第三流路之间均经由第一阀组连接，冷却单元与流路组经由第二阀组连接。由此，能够进行与热输入量的分布的变化相对应的调温。