公开(公告)号：CN1258809C

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN01822139.4

申请日：2001-09-06

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山内朗 ,  上西孝史

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/52

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L2223/54473 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种对准方法和装置，调整第一被键合物与有被覆材料的第二被键合物之间的相对位置时，用识别装置识别第一被键合物的标记的位置，同时以该识别位置为基准，在与第二被键合物的被覆材料外侧的区域对应的位置上，在画面上显示代表第一被键合物的位置的基准标记，用识别装置识别附加在第二被键合物的被覆材料外侧的第二被键合物的标记的位置，同时在上述画面上显示该识别位置，校正第二被键合物的位置，以便第二被键合物的标记的位置相对于基准标记的位置进入容许精度内。

公开(公告)号：CN100352025C

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN03822918.8

申请日：2003-09-25

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山内朗

IPC: H01L21/60 ,  B23K20/24 ,  H01L21/02 ,  H05K3/34

CPC classification number: H01L24/81 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/751 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75301 ,  H01L2224/7565 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/81009 ,  H01L2224/81013 ,  H01L2224/81054 ,  H01L2224/81121 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种接合装置，具有：清洗室；清洗单元，在该清洗室内在减压情况下对所说金属接合部的接合面照射能量波；接合单元，在大气中将从所说清洗室内取出的被接合物的金属接合部彼此接合；输送单元，将至少就一方被接合物而言在前的被接合物和后续的被接合物实质上同时至少沿着向所说清洗室内送入的方向和从清洗室内送出的方向进行输送。在将清洗后的被接合物取出至大气中进行接合时，特别是围绕清洗室进行的被接合物的送入和送出以及传递能够圆滑且以较短时间完成，能够以高处理量批量生产既定的接合制品。其结果，可缩短整个接合工序的生产节拍时间、降低接合工序所需要的成本。

公开(公告)号：CN100352024C

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN03822817.3

申请日：2003-09-22

Applicant: 须贺唯知 ,  东丽工程株式会社 ,  冲电气工业株式会社 ,  三洋电机株式会社 ,  夏普株式会社 ,  索尼株式会社 ,  株式会社东芝 ,  富士通株式会社 ,  松下电器产业株式会社 ,  罗姆股份有限公司 ,  株式会社瑞萨科技

Inventor： 须贺唯知 ,  伊藤寿浩 ,  山内朗

IPC: H01L21/60 ,  B23K20/24 ,  H05K3/34

CPC classification number: H01L24/81 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/7501 ,  H01L2224/751 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T29/49908 ,  Y10T29/49924 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/53174 ,  H01L2224/0401

Abstract: 本发明提供一种接合装置及接合方法，所述接合装置是将在基材的表面上具有金属接合部的被接合物彼此接合起来的装置，具有：清洗机构，在减压条件下对金属接合部的表面照射等离子体，所述等离子体所具有的能量为可在金属接合部的整个接合表面上蚀刻出1.6nm以上的深度的能量以上；接合机构，在大气中将从该清洗机构取出的被接合物的金属接合部彼此接合。通过采用特定的方法，可以将等离子体清洗后的金属接合部在大气中使其彼此接合，从而实现接合工序的大幅简化、装置整体的简洁化以及成本下降。