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公开(公告)号：CN216846167U
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202120786997.3
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
Abstract: 本实用新型为一种复合型微纳米高深宽比沟槽标准样板，其特征在于：所述的标准样板包括分设于基底上的几何台阶结构测量工作区域、一维栅格结构测量工作区域及深槽结构测量工作区域，所述的几何台阶结构测量工作区域设有直角三角形循迹标识和台阶结构循迹标识及台阶，一维栅格结构测量工作区域设有一维栅格标准样板及指向一维栅格标准样板的一维栅格结构循迹标识，深槽结构测量工作区域设有具有深度、宽度尺寸的沟槽，在沟槽两侧对称设有定位角标识、沟槽定位结构、切片定位结构和正交扫描标定结构，所述台阶的高度与一维栅格标准样板的结构高度及沟槽的深度尺寸相同，且台阶的宽度与一维栅格标准样板中每个光栅的结构宽度及沟槽的宽度尺寸相同。
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公开(公告)号：CN104457556A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310441883.5
申请日：2013-09-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B7/312
Abstract: 本发明公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量装置和方法，所述表座固定在底座上，电感测微仪设置于表座上，弹性体的一端固定在底座上，另一端和连接座的底部相连，连接座的首端和电感测微仪相连，末端和滑轨垂直相连，测头夹具套设在滑轨上，三针套件固定在测头夹具上，安装架固定在底座上，待测工件的圆柱部分夹持于安装架上，三针套件压紧在待测工件的螺纹部上，滚动轴承设置于待测工件的圆柱部分上，质量块压加在滚动轴承上。还公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量方法。本发明结构简单，制作方法，能够简单速度的测得待测工件的同轴度，精度高，操作过程简单，易于广泛推广。
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公开(公告)号：CN104457556B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201310441883.5
申请日：2013-09-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B7/312
Abstract: 本发明公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量装置和方法，所述表座固定在底座上，电感测微仪设置于表座上，弹性体的一端固定在底座上，另一端和连接座的底部相连，连接座的首端和电感测微仪相连，末端和滑轨垂直相连，测头夹具套设在滑轨上，三针套件固定在测头夹具上，安装架固定在底座上，待测工件的圆柱部分夹持于安装架上，三针套件压紧在待测工件的螺纹部上，滚动轴承设置于待测工件的圆柱部分上，质量块压加在滚动轴承上。还公开了一种涡轮部件及螺柱标准件同轴度的测量方法。本发明结构简单，制作方法，能够简单速度的测得待测工件的同轴度，精度高，操作过程简单，易于广泛推广。
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公开(公告)号：CN102278933B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201110184739.9
申请日：2011-07-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种圆柱直齿渐开线花键环规跨棒距的测量方法及测量装置，测量方法包括如下步骤：（1）在卧式测长仪的测量座和尾座上相向安装两对称的测钩，在测钩的钩尖端上安装测量测头，所述测量测头包括刀口测头和平面测头，所述刀口测头与内花键键齿齿槽相互垂直；（2）进行零位校准，即调整两测量测头平行，将组合的量块用量块夹固定在卧式测长仪工作台上，调整工作台使量块夹上量爪工作面与刀口测头刀口面平行，然后将仪器置零；（3）量块取下，将被测的花键环规安装好，测量棒安装在被测的花键环规齿槽内；（4）使刀口测头与测量棒接触，调整工作台，读取仪器示值，加上零位校准用量块的实际值，就获得被测花键环规的跨棒距。
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公开(公告)号：CN102278933A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110184739.9
申请日：2011-07-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种圆柱直齿渐开线花键环规跨棒距的测量方法及测量装置，测量方法包括如下步骤：（1）在卧式测长仪的测量座和尾座上相向安装两对称的测钩，在测钩的钩尖端上安装测量测头，所述测量测头包括刀口测头和平面测头，所述刀口测头与内花键键齿齿槽相互垂直；（2）进行零位校准，即调整两测量测头平行，将组合的量块用量块夹固定在卧式测长仪工作台上，调整工作台使量块夹上量爪工作面与刀口测头刀口面平行，然后将仪器置零；（3）量块取下，将被测的花键环规安装好，测量棒安装在被测的花键环规齿槽内；（4）使刀口测头与测量棒接触，调整工作台，读取仪器示值，加上零位校准用量块的实际值，就获得被测花键环规的跨棒距。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103076038A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310043158.2
申请日：2013-02-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明专利涉及计量测试量值传递技术领域，尤其是涉及一种用于三维非接触测量系统校准的标准装置。它的测量棒两端分别连接标准球。本发明由于采用上述技术方案，使得标准球与球支撑构成直线垂直于测量棒，在测量过程中标准球能被三维非接触式测量系统完整的测量，标准球表面不反光，测量棒采用膨胀系数小的材料制造，不受热胀冷缩引起的长度变化的影响，能适应各种不同的测试要求，准确的检测出三维非接触测量系统的测量误差和测量不确定度。
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公开(公告)号：CN216791112U
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202120786964.9
申请日：2021-04-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本实用新型为一种可循迹多尺寸纳米膜厚标准样板，其特征在于：所述的纳米膜厚标准样板包括设于基底上的第一测量工作区域和第二测量工作区域两个工作区域，所述的第一测量工作区域设有小光斑光源测量工作中心圆，所述的第二测量工作区域设有大光斑光源测量工作中心圆，所述的小光斑光源测量工作中心圆外周设有若干指向小光斑光源测量工作中心圆的小光斑光源工作区域循迹标识，所述大光斑光源测量工作中心圆外周设有若干指向大光斑光源测量工作中心圆的大光斑光源工作区域循迹标识。本实用新型能够满足测量中不同光斑大小的测量需求，完善了半导体行业不同类型仪器的量值统一方式，使测量结构能被快速、准确地定位和测量，大大提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN203259129U
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201320250461.5
申请日：2013-05-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/22
Abstract: 本实用新型为一种基于光切原理的非接触式伤痕深度测量装置，其特征在于：所述的测量装置包括9J型光切显微镜光路壳体、长度计、光源及调节组件、CCD及调节组件、三维调节工作台、压板固定用T型导轨条、底座及显微镜导轨立柱；所述的三维调节工作台和显微镜导轨立柱并列安装在底座上，旁侧还设有T型导轨条，连接在显微镜导轨立柱上的9J型光切显微镜光路壳体位于三维调节工作台上方呈悬空非接触式，9J型光切显微镜光路壳体上表面并列连接长度计接触块组件和光源调节组件，长度计接触块组件上端与长度计接触，长度计通过长度计连接件与显微镜导轨立柱顶端相连，CCD及调节组件与9J型光切显微镜光路壳体上侧面构成45°倾斜连接。
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公开(公告)号：CN203177885U
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201320062791.1
申请日：2013-02-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及计量测试量值传递技术领域，尤其是涉及一种用于三维非接触测量系统校准的标准装置。它的测量棒两端分别连接标准球。本实用新型由于采用上述技术方案，使得标准球与球支撑构成直线垂直于测量棒，在测量过程中标准球能被三维非接触式测量系统完整的测量，标准球表面不反光，测量棒采用膨胀系数小的材料制造，不受热胀冷缩引起的长度变化的影响，能适应各种不同的测试要求，准确的检测出三维非接触测量系统的测量误差和测量不确定度。
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公开(公告)号：CN202126223U
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201120232010.X
申请日：2011-07-04
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种花键环规跨棒距的测量装置，属于测量领域。一种圆柱直齿渐开线花键环规跨棒距的测量装置，其特征在于：包括在卧式测长仪的测量座和尾座上相向安装两对称的测钩，在所述测钩竖直尖端横向的测量头座上安装测量测头，所述测量测头包括前端的刀口测头和后端的平面测头，刀口测头面对内尺寸测量位置，所述刀口测头对应所述花键环规的内花键键齿齿槽并相互垂直。本测量装置通过专门设计的测钩和测量测头，直接伸至被测花键环规内花键键齿槽内进行测量，比现在的采用塞组合量块的测量装置，不仅速度加快，效率提高，而且测量结果更精确。
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