一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110726378B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN201911100142.4

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法,在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。

    基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法

    公开(公告)号:CN111487441A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN202010451028.2

    申请日:2020-05-25

    Abstract: 本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,原子力显微镜扫描头固定设置,在测量过程中静止不动,原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号,原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器,平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测,计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见,本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,能够方便地进行测量,测量过程中,原子力显微镜扫描头保持静止,避免了振动导致的测量误差,提高了测量准确性。

    一种高压电源稳定装置
    15.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220568871U

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202321805786.5

    申请日:2023-07-10

    Inventor: 于志强 沈浩 周勇

    Abstract: 本实用新型公开了一种高压电源稳定装置,涉及高压电源技术领域,该装置旨在解决现有技术下装置在进行负载测试时缺少外部绝缘稳定防护结构的技术问题,该装置包括稳定测试台、安装在稳定测试台下端的测试控制箱;稳定测试台上端设置有外部调节防护组件,测试控制箱上端设置有升降稳定放置组件,外部调节防护组件侧端设置有电源线绝缘夹紧组件,稳定测试台上端设置有电源负载测试仪,该装置通过升降稳定放置组件可以根据高压电源规格不同进行调节升降稳定放置,利用电源线绝缘夹紧组件能够对电源线进行稳定防护绝缘夹紧,使其在测试过程中不会发生松动现象。

    一种基于油水分离器耐久检测装置

    公开(公告)号:CN220207099U

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202321866234.5

    申请日:2023-07-14

    Inventor: 于志强 周勇

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于油水分离器耐久检测装置,属于油水分离器耐久检测技术领域,包括检测液槽和油水分离器本体,所述检测液槽的底部两侧均固定连接有支撑架,且检测液槽的前侧设有观察窗,所述检测液槽的外侧壁设有升降调节机构,且升降调节机构的两端均贯穿至检测液槽中并固定连接有放置台壳,所述油水分离器本体放置于放置台壳上,所述放置台壳中设有用于油水分离器本体的固定机构。本实用新型中,通过设置升降调节机构可将油水分离器本体浸入检测液槽中的肥皂液中,操作更方便,不需要每次都将肥皂液进行重新注入和抽离,减少设备投入,且对油水分离器本体取料方便,提高耐久检测效率。

    一种微球旋转夹持装置
    17.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208350057U

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201820730220.3

    申请日:2018-05-17

    Abstract: 本实用新型公开了一种微球旋转夹持装置,主要解决现有原子力显微镜测量范围小,满足不了微球的全表面测量的技术问题。本实用新型的技术方案为:一种微球旋转夹持装置,由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成;所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。本实用新型可以实现微球的夹持,并可以将微球按一定的规律旋转一定的角度进行测量,以扩大原子力显微镜在微球表面的测量范围。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种亚表面多参数纳米标准样板

    公开(公告)号:CN218481428U

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202222197696.4

    申请日:2022-08-19

    Abstract: 本实用新型涉及一种亚表面多参数纳米标准样板,包括用于定位寻找校准位置的X向循迹标记、Y向循迹标记和对准标记,用于校准的Z向台阶校准区域、一维栅格校准区域和二维栅格校准区域,使用本实用新型的一种亚表面多参数纳米标准样板进行仪器校准时,可借助循迹标记和对准标记快速分辨当前位置并定位到待测区域,可用于共聚焦显微镜、白光干涉显微镜、超声原子力显微镜等亚表面测量仪器的校准及溯源,为亚表面几何参数测量中的量值准确性提供保障,助力半导体、精密制造、国防军工等战略性新兴产业的发展,具有高度产业利用价值。

    一种角度可调的高精度载物台装置

    公开(公告)号:CN214335358U

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202120396080.2

    申请日:2021-02-23

    Abstract: 本实用新型涉及的一种角度可调的高精度载物台装置,在本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置中,底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承,通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度,从而使得载物台的位姿得以调节,由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦,所以摩擦力小,不会发生窜动,使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见,本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿,结构简单,运动平稳顺畅。

    基于原子力显微镜的测量装置

    公开(公告)号:CN212379431U

    公开(公告)日:2021-01-19

    申请号:CN202020895038.0

    申请日:2020-05-25

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置,原子力显微镜扫描头固定设置,在测量过程中静止不动,原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号,原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器,平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测,计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见,本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置,能够方便地进行测量,测量过程中,原子力显微镜扫描头保持静止,避免了振动导致的测量误差,提高了测量准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

Patent Agency Ranking