公开(公告)号：CN115203844A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210819841.X

申请日：2022-07-12

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 陈佳鹏 ,  吴霖 ,  彭亚男 ,  郝晓东 ,  林杰 ,  何安捷

IPC: G06F30/17 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明提供了一种确定固结磨料研抛脆性工件中有效切削磨料量的方法，属于磨粒加工技术领域。该方法包括：首先根据磨粒划刻工件深度确定磨料垫基体中的退让量；然后根据固结磨料垫和工件的几何位置关系，确定参与加工的有效磨料数；最后根据参与加工的有效磨料数，建立固结磨料与工件的全局接触模型，确定参与切削的有效磨料数量。本发明明确了不同载荷下的固结磨料垫与工件接触状态，强调了参与加工的磨料实际作用，相比只关注磨料出露概率的有效磨料数量计算方法更能全面、准确。通过准确的有效切削磨料数量可以预测固结磨料垫研抛脆性工件的材料去除率，进而根据加工要求反向设计固结磨料垫。

公开(公告)号：CN114943243A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202210066395.X

申请日：2022-01-20

Applicant: 上海工程技术大学

Inventor： 陈佳鹏 ,  彭亚男 ,  郝晓东 ,  林杰 ,  何安捷

IPC: G06K9/00 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明公开了一种化学机械平坦化加工动态声学识别方法、装置及介质，属于模式识别技术领域。本技术方案包括：获取实时监测加工过程中工件发出的声学量；针对声学量，基于声压测量的单全息面模型进行加工声源和噪声声源的分离；依照工件特征对应的声强和频段，对降噪后的加工声源进行小波分解和时频转换；提取工件特征对应声信号频段的特征参数；加工声信号的聚合分类，识别加工动态；输出工件宏观和微观状态可视化信息，本发明设计的声学识别方法能够对噪声进行准确分离，同时将声学现象背后的工件特征和声信号特征参数作为声学识别结果的依据，以声信号样本点密度函数作为聚类中心初始值，提高了化学机械平坦化加工动态识别的准确性和时效性。