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公开(公告)号：CN106323261A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610635055.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106289213A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610693599.0
申请日：2016-08-18
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统，所述系统包括：谐振陀螺、分立电极、环形电极、前置级模块、角度输出模块、振幅控制模块、频率控制模块和正交控制模块；本发明实现谐振陀螺驱动信号的实时锁频以及智能调幅、调相功能；统能够为谐振陀螺工作在全角度时，提供稳幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号，保证陀螺时刻都处于谐振状态，减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差，系统稳定性好。本发明通过对谐振陀螺信号的有效控制，从而实现对谐振陀螺的全角度控制。
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公开(公告)号：CN103644902B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310615814.1
申请日：2013-11-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明提供了一种石英压电陀螺仪的开环驱动控制系统及控制方法，包括计算机控制模块、DDS驱动电路模块、石英压电陀螺仪模块和检测电路模块，计算机控制模块为DDS驱动电路模块进行对驱动信号波形、幅值、频率、相位的设定；DDS驱动电路模块为石英压电陀螺仪模块提供所需的四相位驱动信号或作为石英压电陀螺仪模块的激励源，同时为检测电路模块提供参考信号；石英压电陀螺仪模块在DDS驱动电路模块所给的信号下被激振或被驱动，并产生检测信号；检测电路模块对产生的检测信号进行处理。本发明通过DDS驱动电路为石英压电陀螺仪提供四相位的、稳定、可控、精确、有效的驱动信号，并为石英压电陀螺仪的检测电路提供高质量的参考信号。
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公开(公告)号：CN105004841A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510423685.5
申请日：2015-07-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明提供了一种湿法腐蚀实验平台，包括由聚四氟乙烯制作的水洞部分、基片放置部分和整体框架部分，整体框架部分内充满酸碱溶液，水洞部分和基片放置部分放置在整体框架内浸没在酸碱溶液中，水洞部分包括传动机构、螺旋桨和水洞通道，水洞通道分解为水洞入口和水洞本体；通过外界驱动装置带动传动机构转动，传动机构带动螺旋桨转动，螺旋桨转动时吹动酸碱溶液流动通过水洞通道。基片放置部分放置在水洞通道的内部，需要进行试验的基片放置在基片放置部分的中心，酸碱溶液在螺旋桨的吹动作用下均匀腐蚀基片。本发明通过风洞的原理给基片提供十分均匀的流动酸碱溶液，同时水洞结构具有多个放置基片的位置，可以满足不同流动性能需求的实验。
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公开(公告)号：CN105004334A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510290056.X
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81B7/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5691 , B81B7/0009 , B81C1/00182 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法，包括：设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架，本发明采用面外驱动和检测方法，可实现面外力与面内位移之间的相互转换，便于检测垂直于基底方向的科氏效应；本发明采用电磁式驱动和检测方法，无需制作静电式所需的微小电容间隙，同时可避免寄生电容、静电吸附等问题；本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测，便于制作和实现；本发明体积小，成本低，工艺简单，可实现批量化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104931031A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510290057.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种外缘固定式静电驱动多环陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个含有五到八环的多环谐振器；一个支撑多环谐振器的固定滑槽；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，用于连接所述多环谐振器的环与环，相邻两组辐条的位置有一角度差；一个圆柱形支撑杆，位于所述多环谐振器中央，所述圆柱形支撑杆的中心轴与所述多环谐振器的中心轴重合；位于圆柱形支撑杆上的离散电极；其中：所述多环谐振器最外一圈环固定，仅保留径向振动自由。本发明由于多环谐振器外缘固定，离散电极内置于环中央，具有体积小、结构稳定，响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
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公开(公告)号：CN104913773A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510288003.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/567 , G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/567 , G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种半球形微陀螺封装结构及其制备方法，包括：单晶硅基底、均匀分布信号电极、半球壳式谐振子、圆柱形支撑柱、导通电极、玻璃基底、交叉连接线、引线焊接板、底部引线、单晶硅盖板、隔离层、种子层、导通层、通孔焊接板、顶部引线。本发明采用背部导通电极和交叉连接线实现半球壳式谐振子的电气连接，避免在半球壳式谐振子上直接焊接导线而引起结构的不对称；将单晶硅盖板覆盖在单晶硅基底上端，可保护半球壳式谐振子及信号电极不被破坏，同时可在单晶硅基底和单晶硅盖板之间形成高真空区域，实现微陀螺的片上密封；将通孔结构和信号电极相连，便于从封装结构外部对微陀螺进行信号施加和信号提取；本发明制作方便，可靠性高。
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公开(公告)号：CN104197921A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410390501.5
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5691 , B81C1/00015 , B81C1/00373
Abstract: 本发明提供了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个支撑半球壳式中央谐振子的支撑柱、八个通过离子掺杂形成的电极，其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过金属引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测。所述中央半球壳谐振子采用图形转移的压印方式制成。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
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公开(公告)号：CN104197917A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410389959.9
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00 , B81B7/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5691 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括一个单晶硅基底、一个中心固定支撑柱、一个微型半球谐振子、一个公共电极、八个薄膜压电体、八个均匀分布式信号电极，其中：单晶硅基底与微型半球谐振子通过中心固定支撑柱相连；公共电极与微型半球子的形状相同，位于微型半球谐振子与压电体之间；压电体与信号电极的形状相同，位于公共电极与信号电极之间。本发明采用压电驱动的方式激励微型半球谐振子进行工作，驱动模态和检测模态相互匹配。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作。本发明利用逆压电效应和压电效应进行微陀螺仪的驱动和检测，具有一体化程度高、功耗低、便于批量化制作等特点。
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公开(公告)号：CN104197913A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410390482.6
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/5663
Abstract: 本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括：一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极，其中：八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央谐振子和半球壳式电极采用玻璃金属吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
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