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公开(公告)号：CN106168483B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201610635008.4
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提出了一种上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106017450B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201610566243.0
申请日：2016-07-18
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5649
Abstract: 本发明提供一种压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统，其中：压电半球谐振微陀螺仪模块在给定反馈信号下被激振或被驱动并产生检测信号和监测信号；数字检波模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的幅值进行检测；数字锁相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的频率进行检测；数字AGC模块根据数字检波模块提供的幅值信息对输入压电半球谐振微陀螺仪模块信号的幅值进行调整；数字调相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的相位进行调整；乘法器，确定力平衡反馈模块所需要反馈信号的幅值；力平衡反馈模块向压电半球谐振微陀螺仪模块输出反馈信号。本发明实现了对压电半球谐振微陀螺仪的稳幅稳频控制和数字检测。
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公开(公告)号：CN106248068B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201610635034.7
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出一种相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、侧面电极、相邻电极、玻璃基底。侧面电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一侧面，构成均匀分布式侧面电极；相邻电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一相邻面，如此构成均匀分布式相邻电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN105716597B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201610053731.1
申请日：2016-01-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提供了一种采用DSP与FPGA的微半球谐振陀螺控制及信号检测系统和方法，其中：FPGA系统负责微半球谐振陀螺输入信号的捕捉和初步处理，并将初步处理后的输入信号输入给DSP芯片；DSP芯片对初步处理后的输入信号进行数字滤波以及数字解调，并将数字滤波以及数字解调后生成的信号输出至FPGA系统，再通过FPGA系统的D/A模块反馈转化为模拟量反馈给微半球谐振陀螺，其中反馈包括微半球谐振陀螺信号的频率和相位、幅值的多种反馈。本发明可以低成本、高速度、高集成度，适合处理微半球谐振陀螺高频率、高精度的多路信号。
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公开(公告)号：CN105466407B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201510807715.2
申请日：2015-11-19
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种圆盘多环外双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法，包括一个基底，一个圆盘多环外双梁孤立圆环谐振器和一组分布在圆盘多环外双梁孤立圆环谐振器内侧边缘的电极；其中：圆盘多环外双梁孤立圆环谐振器上的最外一圈圆环，以及圆盘多环外双梁孤立圆环谐振器内侧边缘的电极分别与基底相连。本发明具有体积小、结构稳定、响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105371832B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510807689.3
申请日：2015-11-19
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种圆盘多环内双梁孤立圆环谐振陀螺及其制备方法，包括一个基底；一个圆盘多环内双梁孤立圆环谐振器，包含中央圆柱、多个双梁孤立圆环和多个同心圆环，其中：中央圆柱与所述基底相连，同心圆环之间通过多个辐条相连，多个双梁孤立圆环的两端均分别与中央圆柱和同心圆环中最小圆环内侧相连；一组分布在所述圆盘多环内双梁孤立圆环谐振器外围边缘的电极，且每个电极分别与所述基底相连。本发明具有体积小、结构稳定、响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
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公开(公告)号：CN104197912B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201410390474.1
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：一个单晶硅基底、八个均匀分布式电极、一个微型半球谐振子、一个双端固定支撑柱和一个图形化盖板，其中：所述双端固定支撑柱的下端通过沉积的方式与所述基底连接、上端通过键合的方式与所述图形化盖板连接；所述电极设置于所述基底的上表面，并均匀地分布在所述微型半球谐振子的周围；所述微型半球谐振子固定在所述双端固定支撑柱的底端。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作，通过截止层准确地控制支撑柱面积的大小。本发明可以稳定地固定微型半球谐振子，同时使陀螺的工作振动模态远离陀螺的倾斜、旋转以及支撑柱的变形等其他振动模态。
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公开(公告)号：CN105399042B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201510741963.1
申请日：2015-11-04
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于EFAB工艺的光耦合式微机电密码锁及其制备方法，所述密码锁包括一对密码轮，用于控制光耦合盘位置；一个光耦合盘，位于其中一个密码轮下方，用于与该密码轮配合实现光通路；两组微电机，一组传动机构，包括四个传动齿轮、两组棘轮棘爪，用于控制密码轮转向；六个支撑住，用于支撑密码轮、光耦合盘、传动齿轮、微电机以及棘轮棘爪；两个基板，用于封装和保护密码锁内部机构。本发明采用EFAB一体化工艺，具有工艺简洁、体积小、结构精密、性能安全可靠的优点。
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公开(公告)号：CN104197909B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201410390459.7
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种双半球结构微型谐振陀螺仪及其制备方法，包括一个单晶硅基底、十六个均匀分布式电极、两个对称的微型半球谐振子、一个中心固定支撑柱，其中：中心固定支撑柱的上下两端分别连接两个微型半球谐振子，每个微型半球谐振子周围均匀分布八个电极；两个微型半球谐振子具有相同的中心轴，彼此独立、互不影响。本发明采用静电驱动的方式分别激励两个微型半球谐振子工作，驱动模态和检测模态分别相互匹配。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作。本发明通过差分处理的方式减小离心力、向心力、共模噪声、二次非线性项等因素的影响；在单一器件上同时实现高带宽、高分辨率、高灵敏度、高动态范围等性能指标。
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公开(公告)号：CN106370172A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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