半导体结构及其形成方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113998664A

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202111212038.1

    申请日:2021-10-18

    Inventor: 王续博 刘悦

    Abstract: 本申请公开一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构的形成方法包括:提供衬底,所述衬底包括支撑层、位于所述支撑层一侧表面的停止层以及位于所述停止层表面的器件层;在所述支撑层另一侧表面上形成图形化掩膜层,所述图形化掩膜层内形成有若干不同尺寸的背腔开口;沿各个所述背腔开口进行第一刻蚀,以刻蚀所述支撑层至各背腔开口对应位置处先后均暴露出所述停止层后停止,在所述支撑层内形成若干尺寸不同的背腔。上述方法降低了工艺复杂性。

    金属表面具有多相复合碳源的石墨烯制备方法及装置

    公开(公告)号:CN113699503A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111016218.2

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明提供一种金属表面具有多相复合碳源的石墨烯制备方法及装置,所述制备方法包括如下步骤:提供固态有机碳源、液态有机碳源及气态有机碳源中的至少一种,形成碳源混合物;加热,使所述碳源混合物裂解为气态活性含碳基团;将所述气态活性含碳基团通入反应腔内,所述反应腔内放置有金属基底,在生长温度及生长压力下,所述气态活性含碳基团沉积在所述金属基底上,形成石墨烯层,以形成石墨烯金属复合结构。本发明制备方法先使碳源高温裂解,从而不需要金属基底对所述碳源进行催化,扩大了所述金属基底材料的可选范围,使得所述金属基底可为对碳源具有催化作用的材料也可为对碳源不具备催化作用的材料。

    表面具有复合涂覆Gr的复合金属丝及其制备方法

    公开(公告)号:CN111118470B

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN201911158757.2

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 一种表面具有复合涂覆Gr的复合金属丝及其制备方法,所述制备方法包括:提供金属丝,所述金属丝包括金属丝基材以及沉积于所述金属丝基材表面的初始石墨烯层;在所述金属丝表面涂覆固体碳源;利用卷对卷传输方式传输表面涂覆有固体碳源的金属丝,并且在传输过程中通过原位生长工艺,在所述金属丝表面形成增厚石墨烯层。上述方法能够连续制备表面具有超厚Gr的复合金属丝,提高复合金属丝的性能。

    原子尺度应变计算方法和原子尺度应变计算装置

    公开(公告)号:CN110487225B

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201910793669.3

    申请日:2019-08-27

    Abstract: 一种原子尺度应变计算方法和一种原子尺度应变计算装置,所述原子尺度应变计算方法包括:提供分析对象的电镜照片;定位待分析区域内各原子位置;根据晶体结构特征,将原子划分为不同的特征层;对不同特征层内原子分别进行应变计算。所述原子尺度应变计算方法能够适用于各种晶格结构,提高应变计算的准确性。

    具有复合电镀纳米碳金属膜的复合金属丝及其制备方法

    公开(公告)号:CN111041542A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911158894.6

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 一种具有复合电镀纳米碳金属膜的复合金属丝及其制备方法,所述制备方法包括:提供金属丝;将分散的纳米碳粉末和金属盐分散在溶剂中,配置成复合电镀液;通过卷对卷传输方式,使金属丝连续通过所述复合电镀液,同时对所述金属丝表面进行复合电镀处理,形成覆盖所述金属丝表面的纳米碳金属膜,所述纳米碳金属膜内至少部分纳米碳之间通过金属连接,所述复合电镀处理包括同时进行的电泳沉积和电镀沉积。上述方法能够连续制备表面具有复合电镀纳米碳金属膜的复合金属丝,提高复合金属丝的性能。

    多维度导热性能测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN114295670B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202111599189.7

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本申请公开一种多维度导热性能的测试方法及其测试系统,所述测试方法,采用激光时域热反射测量方法进行热导率测量,包括:将待测热导率对应的目标方向作为热敏感方向,所述热敏感方向为被测样品在泵浦光照射下的产生的热流的主方向;在所述热敏感方向所对应的热传导模式下进行热导率测量,以获得目标方向上的热导率,不同的热传导模式对应于不同的热敏感方向。

    基底及其形成方法、薄膜功能器件

    公开(公告)号:CN114906797A

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202210389455.1

    申请日:2022-04-13

    Abstract: 本申请公开一种基底及其形成方法,一种功能薄膜器件,所述方法包括:提供基板;在所述基板表面形成粘附层;在所述氮化物黏附层表面形成电极层,所述粘附层与所述电极层、所述基板之间的晶格适配率小于等于25%;和/或,所述粘附层与所述电极层、所述基板之间的热失配小于等于15%。上述方法提高电极层与基板之间的粘附性,提高所述电极层的质量。

    具有短波导结构的超声换能器及制造方法、超声检测装置

    公开(公告)号:CN114864806A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210623023.2

    申请日:2022-06-01

    Inventor: 王续博 刘悦

    Abstract: 本申请公开一种具有短波导结构的超声换能器及其制造方法和超声检测装置,所述制造方法包括:提供第一基底,包括第一支撑层和形成于所述第一支撑层表面的第一器件层;图形化所述第一器件层,形成贯穿所述第一器件层的开口;提供第二基底,包括第二支撑层、位于所述第二支撑层上的第二器件层;将所述第二器件层朝向所述第一基底,键合于所述第一器件层表面;去除所述第二支撑层,在所述第二器件层背离所述第一器件层的一侧上形成压电传感单元,所述压电传感单元位置与所述开口位置相对;去除所述第一支撑层,暴露出所述开口,所述开口作为波导。上述制造方法能够形成具有短波导结构,适用于柔性超声换能器的大规模制造,提高超声换能器的性能。

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