公开(公告)号：CN101401198A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200680053935.X

申请日：2006-12-26

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 加藤光雄 ,  堀江茂齐 ,  青井辰史 ,  河野将树 ,  津元良公 ,  小笠原弘明 ,  小林敏郎

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  B65G49/06

CPC classification number: B65G49/061 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明公开了一种静电吸引设备和一种能够可靠吸引和快速释放玻璃基板的吸引/释放方法。根据玻璃基板的物理性质获得用于吸引玻璃基板的吸引力。除了获得用于获得吸引力所要求的吸引电压(Vc(t))之外，也获得了用于保持吸引状态的保持电压(Vh(t))和用于释放玻璃基板的释放电压(Vr(t))(S1到S7)。吸引时间周期(tc)被实际测量，并且如果此测量的时间不同于预设吸引时间(t1)，根据实际测量的吸引时间周期(tc)重新计算保持电压(Vh(t))和释放电压(Vr(t))(S8到S11)。

公开(公告)号：CN100387492C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN02820736.X

申请日：2002-12-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 阿部隆夫 ,  山越英男 ,  加藤光雄 ,  浅原裕司

IPC: B65D23/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/509

Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。