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公开(公告)号：CN101401198A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200680053935.X
申请日：2006-12-26
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本发明公开了一种静电吸引设备和一种能够可靠吸引和快速释放玻璃基板的吸引/释放方法。根据玻璃基板的物理性质获得用于吸引玻璃基板的吸引力。除了获得用于获得吸引力所要求的吸引电压(Vc(t))之外，也获得了用于保持吸引状态的保持电压(Vh(t))和用于释放玻璃基板的释放电压(Vr(t))(S1到S7)。吸引时间周期(tc)被实际测量，并且如果此测量的时间不同于预设吸引时间(t1)，根据实际测量的吸引时间周期(tc)重新计算保持电压(Vh(t))和释放电压(Vr(t))(S8到S11)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101401198B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN200680053935.X
申请日：2006-12-26
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本发明公开了一种静电吸引设备和一种能够可靠吸引和快速释放玻璃基板的吸引/释放方法。根据玻璃基板的物理性质获得用于吸引玻璃基板的吸引力。除了获得用于获得吸引力所要求的吸引电压(Vc(t))之外，也获得了用于保持吸引状态的保持电压(Vh(t))和用于释放玻璃基板的释放电压(Vr(t))(S1到S7)。吸引时间周期(tc)被实际测量，并且如果此测量的时间不同于预设吸引时间(t1)，根据实际测量的吸引时间周期(tc)重新计算保持电压(Vh(t))和释放电压(Vr(t))(S8到S11)。
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公开(公告)号：CN101643889A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910002782.1
申请日：2009-01-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/06
CPC classification number: C23C14/06 , C23C28/044 , C23C30/00 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供旋转机械用部件及其制造方法，该旋转机械用部件在基材的表面上形成有陶瓷硬质保护膜，存在于该陶瓷硬质保护膜表面的颗粒的密度在1000个/mm 2 以内，且平均粒径为1μm以下的颗粒的密度在550个/mm 2 以内。所述旋转机械用部件的制造方法是至少利用离子镀法或溅射法形成陶瓷硬质保护膜的方法。
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公开(公告)号：CN110225998B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN201880008353.2
申请日：2018-02-02
Applicant: 三菱重工业株式会社 , 日本发动机股份有限公司
Abstract: 一种耐环境性构件，具备：Al合金基材(41)；非电解镀层(42)，其在Al合金基材(41)的表面形成；Si层(43)或耐腐蚀性金属层(53)，它们在非电解镀层(42)的表面形成；以及类金刚石碳层(44)或陶瓷层(54)，它们在Si层(43)或耐腐蚀性金属层(53)的表面形成，通过该耐环境性构件形成压缩机的叶轮，从而能够使该叶轮兼备耐磨损性以及耐侵蚀性。
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公开(公告)号：CN110225998A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201880008353.2
申请日：2018-02-02
Applicant: 三菱重工业株式会社 , 日本发动机股份有限公司
Abstract: 一种耐环境性构件，具备：Al合金基材(41)；非电解镀层(42)，其在Al合金基材(41)的表面形成；Si层(43)或耐腐蚀性金属层(53)，它们在非电解镀层(42)的表面形成；以及类金刚石碳层(44)或陶瓷层(54)，它们在Si层(43)或耐腐蚀性金属层(53)的表面形成，通过该耐环境性构件形成压缩机的叶轮，从而能够使该叶轮兼备耐磨损性以及耐侵蚀性。
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公开(公告)号：CN101643889B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910002782.1
申请日：2009-01-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/06
CPC classification number: C23C14/06 , C23C28/044 , C23C30/00 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供旋转机械用部件及其制造方法，该旋转机械用部件在基材的表面上形成有陶瓷硬质保护膜，存在于该陶瓷硬质保护膜表面的颗粒的密度在1000个/mm2以内，且平均粒径为1μm以下的颗粒的密度在550个/mm2以内。所述旋转机械用部件的制造方法是至少利用离子镀法或溅射法形成陶瓷硬质保护膜的方法。
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