光学性能恢复设备、恢复方法以及用于该设备的光学系统

    公开(公告)号:CN101656187B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN200910170895.2

    申请日:2004-05-31

    Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减,其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式,可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现:产生具有活性能量存在的近真空区,以激发碳的氧化反应,其中所述近真空区面对所述光学系统的所述光线表面;在所述近真空区产生负离子或基团,例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH-离子、臭氧、O2-离子、O-基;并通过沉积的碳与负离子或基团进行反应,消除或减少积聚在所述照明表面上的积聚的碳。

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