公开(公告)号：CN101542741A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000648.1

申请日：2008-09-26

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 岛田聪 ,  山冈义和 ,  藤田和范 ,  田部智规

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336 ,  H01L29/739

CPC classification number: H01L29/7813 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/0696 ,  H01L29/41741 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/42368 ,  H01L29/4238 ,  H01L29/66734 ,  H01L29/7809

Abstract: 本发明用于在沟槽栅型晶体管中实现栅极电容的降低、结晶缺陷发生的抑制及栅极耐压的提高。在N－型半导体层(12)上形成沟槽(14)。在沟槽(14)的底部及其附近，形成在角部(12A、12B)处带有圆度且厚度均匀的硅氧化膜(15A)。另外，在沟槽(14)的侧壁的上方，形成比硅氧化膜(15A)薄、在角部(12C、12D)处带有圆度的硅氧化膜(15B)。并且，形成从沟槽(14)内向外侧延伸的栅电极(18)。基于厚的硅氧化膜(15A)可降低栅极电容，基于其上方薄的硅氧化膜(15B)可确保优良的晶体管特性。另外，基于角部(12A、12B)的圆度，不易发生结晶缺陷，并且使栅极电场分散，提高栅极耐压。

公开(公告)号：CN301565810S

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201030596138.5

申请日：2010-11-03

Applicant: 三洋电机株式会社

Designer： 神纳裕幸 ,  石井阳介 ,  田部智规 ,  丸山悠 ,  松根健悟 ,  住友光太郎

Abstract: 1.外观设计产品的名称：太阳能电池模块。2.外观设计产品的用途：太阳能电池模块。3.外观设计的设计要点：图中所示产品的形状和结构。4.指定用于出版专利公报的图片或者照片：设计1主视图。5.指定设计1为基本设计。6.设计1仰视图与设计1俯视图相同，省略设计1仰视图；设计1左视图与设计1右视图相同，省略设计1左视图；设计2仰视图与设计2俯视图相同，省略设计2仰视图；设计2左视图与设计2右视图相同，省略设计2左视图。7.在“设计2表示透明部分的后视参考图”中，斜线部分为透明。

公开(公告)号：CN301565809S

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201030596013.2

申请日：2010-11-03

Applicant: 三洋电机株式会社

Designer： 神纳裕幸 ,  石井阳介 ,  田部智规 ,  丸山悠 ,  松根健悟 ,  住友光太郎

Abstract: 1.外观设计产品的名称：太阳能电池。2.外观设计产品的用途：太阳能电池。3.外观设计的设计要点：图中所示的电极的形状。4.指定用于出版专利公报的图片或者照片：设计1主视图。5.指定设计1为基本设计。6.设计1仰视图与设计1俯视图相同，省略设计1仰视图；设计1左视图与设计1右视图相同，省略设计1左视图；设计2仰视图与设计2俯视图相同，省略设计2仰视图；设计2左视图与设计2右视图相同，省略设计2左视图。7.在“设计1表示各部分名称的A-A部分放大参考图”中101为电极；在“设计1表示各部分名称的后视参考图”中102为电极；在“设计2表示各部分名称的A-A部分放大参考图”中201为电极；在“设计2表示各部分名称的后视参考图”中202为电极。