半导体器件和包括该半导体器件的数据储存系统

    公开(公告)号:CN116471843A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310082481.4

    申请日:2023-01-18

    Abstract: 一种半导体器件包括:具有栅电极和层间绝缘层的堆叠结构,该堆叠结构具有单元区域和台阶区域,并且栅电极在第一方向上延伸以在台阶区域中具有台阶形状;在单元区域中穿过堆叠结构的沟道结构;穿过堆叠结构并在第一方向上延伸的分离结构;以及在台阶区域中在分离结构之间并穿过堆叠结构的支撑结构。台阶区域包括第一区域和第二区域,第一区域在第一方向上比第二区域更靠近单元区域,支撑结构包括分别穿过第一区域和第二区域中的堆叠结构的第一支撑结构和第二支撑结构,第一支撑结构的最大宽度大于第二支撑结构的最大宽度。

    三维半导体器件
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109326607A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810865994.1

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 一种三维半导体器件包括:栅电极,其包括焊盘区域,所述焊盘区域沿第一方向依次降低第一阶梯部分并且沿垂直于所述第一方向的第二方向依次降低第二阶梯部分,所述第二阶梯部分低于所述第一阶梯部分,其中,在依次降低所述第二阶梯部分的焊盘区域之中的单个焊盘区域沿所述第二方向的长度小于所述焊盘区域中的剩余焊盘区域沿所述第二方向的长度。

    垂直存储器件
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106409831A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610133440.3

    申请日:2016-03-09

    Abstract: 本公开提供了垂直存储器件。一种垂直存储器件包括:多个栅电极,分别在多个水平处,在基本垂直于基板的顶表面的垂直方向上彼此间隔开;沟道,在基板上在垂直方向上延伸并穿过栅电极;和多个第一接触插塞,在垂直方向上延伸并分别接触栅电极。至少一个第二接触插塞形成在该多个栅电极当中的第一栅电极上,并在垂直方向上延伸。

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