公开(公告)号：CN1945812A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610139943.8

申请日：2006-09-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李永范 ,  朴明一 ,  金京燮 ,  李庸懿

IPC: H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  H01L21/311 ,  B23K26/00 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L27/124

Abstract: 用于制造LCD基板的方法和装置，包括：在底部基板上形成像素开关元件的栅电极；在所述底部基板上形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上形成所述开关元件的源电极和漏电极；在所述底部基板上形成保护绝缘层；将激光光束辐射到基板上，以形成使所述漏电极的一小部分曝光的第一接触孔；以及在基板上形成通过所述第一接触孔电连接到所述漏电极的像素电极。所述方法和装置均简化制造LCD基板的过程并使所述过程更加可靠。