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公开(公告)号：CN101261961A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200810083158.4
申请日：2008-03-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/84 , H01L21/768 , H01L21/336
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214 , H01L27/1255 , H01L29/66765
Abstract: 根据一种薄膜晶体管(TFT)基板的制造方法，栅极绝缘层、半导体层、欧姆接触层和数据金属层顺序形成于基板上。光致抗蚀剂图案形成于源电极区域和漏电极区域中。使用该光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，数据金属层被蚀刻以形成包括源电极和漏电极的数据布线。光致抗蚀剂图案被回流以覆盖该源电极和该漏电极之间的沟道区。使用回流的光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，该欧姆接触层和半导体层被蚀刻以形成包括欧姆接触图案和半导体图案的有源图案。回流的光致抗蚀剂图案被回蚀刻以露出该沟道区内的该欧姆接触图案的一部分。使用回蚀刻的光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，该欧姆接触图案被蚀刻。
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公开(公告)号：CN1932600A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610144725.3
申请日：2006-08-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: H01L21/67363
Abstract: 本发明提供了一种可用于在真空环境中将粘附对象粘附到待粘附对象上的夹具以及在该粘附方法中使用的真空设备。夹具包括一起限定用于接收第一和第二对象的腔室的第一框架和第二框架。第一框架包括具有多个坐槽的支座部分和设置在每个坐槽下方的致动器，致动器可相对于坐槽移动。第一弹性元件在夹具中设置在致动器下方。第一弹性元件定位成，其响应于夹具腔室内的压力变化而能够接触和移动致动器。第二框架包括第二弹性元件，第二弹性元件定位成邻近每个坐槽。第二弹性元件可以随着夹具腔室内的压力变化而移动。
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公开(公告)号：CN1920632A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610132288.3
申请日：2006-08-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: B28D5/0011 , B65G49/066 , B65G2249/045 , C03B33/03 , C03B33/07 , G02F1/133351 , Y02P40/57 , Y10T83/04
Abstract: 一种液晶显示器基板的切割系统和方法，其中第一切割单元在一个方向上将液晶显示器基板切割为每一个包括至少一个面板的多个子基板，运送单元将子基板彼此分离并同时运送分离的子基板至第二切割单元，该第二切割单元将分离的子基板切割为各个液晶显示器。
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公开(公告)号：CN1727924A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510084541.8
申请日：2005-07-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02B5/30 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/133536 , G02F1/133526
Abstract: 一种转变光的方法、用于实施所述方法的光学膜以及具有所述光学膜的显示装置，光学膜包括各向异性膜、各向同性膜、λ/4相差膜和λ/2相差膜。各向异性膜具有相对于第一光线的第一折射率以及相对于第二光线的第二折射率。各向同性膜的折射率与第一折射率大体相同。λ/4相差膜使第一和第二光线的波长延迟大约λ/4。λ/2相差膜使第二光线的波长延迟大约λ/2。
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公开(公告)号：CN1573434A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410071401.2
申请日：2004-06-19
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L21/6708 , B08B3/022 , B08B11/02 , H01L21/67051
Abstract: 提供一种在水平方向传送基底并在该基底表面上供给处理溶液的基底处理装置，它包括：保持位于其下的基底的基底支持部件；用于供给处理溶液的喷射部件，该喷射部件位于基底的下面并与基底间隔分开；以及用于在水平方向上传送基底支持部件的传送部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101063921B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200710126619.7
申请日：2007-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G06F3/0436 , Y10T29/49117 , Y10T29/49135
Abstract: 本发明提供一种有触摸面板的显示装置，包括：底部基板；位于该底部基板上的第一透明电极层；位于第一透明电极层上的超声波导向层；位于超声波导向层上的第二透明电极层；位于第二透明电极层上的超声波传输单元和超声波接收单元，其中所述超声波传输单元传输的超声波沿着所述超声波导向层移动并被所述超声波接收单元接收；以及位于第二透明电极层上的保护层。
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公开(公告)号：CN1987570B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200610064054.X
申请日：2006-12-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/133 , G02F1/1362 , G03F7/20 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/00 , C01B31/00
CPC classification number: H05K3/388 , H01L21/76841 , H01L27/124 , H01L29/4908 , H05K2201/0323 , Y10T428/2933
Abstract: 在一种金属线路、形成该金属线路的方法、具有该金属线路的显示器基板以及该显示器基板的制造方法中，金属线路包括金属膜和第一无定形碳膜，其中所述第一无定形碳膜的由所述金属膜暴露的部分在去除光致抗蚀剂图案的同时被去除。金属膜利用含铜材料形成在基片上，第一无定形碳膜形成在金属膜下面。形成包括无定形碳膜的金属线路的方法可以大大地简化，并且可以防止或减少在金属线路中产生缺陷。
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公开(公告)号：CN101261961B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810083158.4
申请日：2008-03-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/84 , H01L21/768 , H01L21/336
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214 , H01L27/1255 , H01L29/66765
Abstract: 根据一种薄膜晶体管(TFT)基板的制造方法，栅极绝缘层、半导体层、欧姆接触层和数据金属层顺序形成于基板上。光致抗蚀剂图案形成于源电极区域和漏电极区域中。使用该光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，数据金属层被蚀刻以形成包括源电极和漏电极的数据布线。光致抗蚀剂图案被回流以覆盖该源电极和该漏电极之间的沟道区。使用回流的光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，该欧姆接触层和半导体层被蚀刻以形成包括欧姆接触图案和半导体图案的有源图案。回流的光致抗蚀剂图案被回蚀刻以露出该沟道区内的该欧姆接触图案的一部分。使用回蚀刻的光致抗蚀剂图案作为蚀刻停止层，该欧姆接触图案被蚀刻。
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公开(公告)号：CN100521189C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200610006610.8
申请日：2006-01-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/532 , H01L27/12 , H01L21/84 , H01L21/283 , H01L21/768
CPC classification number: H01L29/458 , G02F2001/136295 , H01L27/12 , H01L27/124 , H01L27/3279
Abstract: 本发明涉及一种用于提供包括铜合金的信号线的系统和技术，所述铜合金包括钼、钨和铬中的至少一种。本公开提供薄膜晶体管阵列面板，包括：绝缘基板；形成在该绝缘基板上的栅极线；形成在该栅极线上的栅极绝缘层；形成在该栅极绝缘层上的半导体层；形成在该栅极绝缘层和该半导体层上的欧姆接触；具有形成在该欧姆接触之一上且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的源极电极的数据线；以其间一间隙对着该源极电极且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的漏极电极；以及连接至所述漏极电极的像素电极，其中所述栅极线和所述数据线中的至少一种包括Cu合金，所述Cu合金包括Cu以及选自含有钼(Mo)、钨(W)和铬(Cr)的组的一种。
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