公开(公告)号：CN101086957B

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN200710108881.9

申请日：2007-06-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金贞燮 ,  任大淳 ,  卜胜龙

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/306 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67086 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种用于基板的蚀刻设备，包括：包括蚀刻溶液的蚀刻箱；盒，具有安置于其中的多个基板且该盒安装在该蚀刻箱内；多孔板，安装在该盒的下表面上；多个排出部件，设置在所述多孔板中并对应于所述基板，每个所述排出部件具有多个排出口。该蚀刻设备还包括多条第一管线，分别连接到所述排出口，并被供给以气体从而通过排出口向基板提供气泡。所述第一管线分成多个组，至少一个组被供给有压力不同于供给到其它组的气体压力的气体。

公开(公告)号：CN101086957A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200710108881.9

申请日：2007-06-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金贞燮 ,  任大淳 ,  卜胜龙

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/306 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67086 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种用于基板的蚀刻设备，包括：蚀刻溶液的蚀刻箱；盒，具有安置于其中的多个基板且该盒安装在该蚀刻箱内；多孔板，安装在该盒的下表面上；多个排出部件，设置在所述多孔板中并对应于所述基板，每个所述排出部件具有多个排出口。该蚀刻设备还包括多条第一管线，分别连接到所述排出口，并被供给以气体从而通过排出口向基板提供气泡。所述第一管线分成多个组，至少一个组被供给有压力不同于供给到其它组的气体压力的气体。

公开(公告)号：CN1920632A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200610132288.3

申请日：2006-08-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜镐民 ,  崔元佑 ,  卜胜龙

IPC: G02F1/1333

CPC classification number: B28D5/0011 ,  B65G49/066 ,  B65G2249/045 ,  C03B33/03 ,  C03B33/07 ,  G02F1/133351 ,  Y02P40/57 ,  Y10T83/04

Abstract: 一种液晶显示器基板的切割系统和方法，其中第一切割单元在一个方向上将液晶显示器基板切割为每一个包括至少一个面板的多个子基板，运送单元将子基板彼此分离并同时运送分离的子基板至第二切割单元，该第二切割单元将分离的子基板切割为各个液晶显示器。