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公开(公告)号：CN118748158A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410774621.9
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的方法。用于制造显示装置的方法包括：将显示面板和掩模组件布置在腔室中；将沉积材料从多个源单元中的至少一个源单元供应到腔室中，并将沉积材料沉积在显示面板上；测量多个源单元中的至少一个源单元的内部温度；将多个源单元中的至少一个源单元的测量的内部温度与预设温度进行比较；使从多个源单元中的至少一个源单元供应到腔室中的沉积材料中断；以及将沉积材料从多个源单元中的至少另一源单元供应到腔室中。
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公开(公告)号：CN110783225B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN201910669080.2
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
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公开(公告)号：CN117926188A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311370840.2
申请日：2023-10-23
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24 , H01L21/67 , H01L27/12 , H10K59/12 , H10K71/16 , H10K71/60 , C23C14/04 , H05B3/02 , H05B3/06
Abstract: 一种沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，所述沉积源包括：容纳模块，容纳沉积材料；和加热器模块，将热量提供到所述沉积材料。所述沉积源容纳在所述内部空间中以提供所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，包括面向所述容纳模块的表面，所述第一加热器盖包括绝缘材料并且提供有第一通孔；第二加热器盖，包括绝缘材料并且提供有第二通孔；加热器，设置在所述第一加热器盖和所述第二加热器盖之间；固定框架，与所述第二加热器盖耦接，固定所述第二加热器盖，并且提供有紧固孔；耦接构件，插入到所述第一通孔、所述第二通孔和所述紧固孔中；以及屏蔽盖，覆盖所述耦接构件的一端，并且包括绝缘材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106399943B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201610080804.6
申请日：2016-02-05
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。
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公开(公告)号：CN221501220U
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202322833520.8
申请日：2023-10-23
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24 , H01L21/67 , H01L27/12 , H10K59/12 , H10K71/16 , H10K71/60 , C23C14/04 , H05B3/02 , H05B3/06
Abstract: 一种沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，容纳在所述内部空间中以提供沉积材料，所述沉积源包括：容纳模块，容纳所述沉积材料；和加热器模块，与所述容纳模块的外部部分相邻设置以将热量提供到所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，所述第一加热器盖的第一表面面向所述容纳模块，所述第一加热器盖包括绝缘材料并且提供有第一通孔；第二加热器盖，包括绝缘材料并且提供有第二通孔；加热器，设置在所述第一加热器盖和所述第二加热器盖之间；固定框架，与所述第二加热器盖耦接，固定所述第二加热器盖，并且提供有紧固孔；以及耦接构件，插入到所述第一通孔、所述第二通孔和所述紧固孔中。
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公开(公告)号：CN221344672U
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202322875492.6
申请日：2023-10-26
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 提供了沉积源和沉积装置。沉积源包括喷嘴构件、蒸发构件和连接构件。喷嘴构件包括本体部分、多个喷嘴和坩埚，本体部分包括形成为槽孔的至少一个第一孔，多个喷嘴联接到本体部分的第一表面并且将沉积材料喷射到外部，坩埚包括与至少一个第一孔重叠的至少一个第二孔并且通过插入至少一个第一孔和至少一个第二孔中的紧固构件联接到本体部分的第二表面。紧固构件包括螺栓、螺母和垫圈。蒸发构件与喷嘴构件间隔开并且存储沉积材料，并且连接构件连接喷嘴构件和蒸发构件。
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公开(公告)号：CN221421203U
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202322885271.7
申请日：2023-10-26
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 一种沉积设备包括：汽化部，所述汽化部包括容器、加热部、冷却罩和防附着部，所述容器容纳沉积初步材料，所述加热部围绕所述容器并加热所述沉积初步材料以汽化成沉积材料，所述冷却罩围绕所述加热部并冷却所述加热部，所述防附着部位于所述冷却罩与所述加热部之间以防止所述沉积材料附着到所述冷却罩；以及喷嘴部，喷射在所述汽化部中汽化的所述沉积材料，其中所述防附着部包括覆盖所述冷却罩的防附着板和被配置以将所述防附着板紧固到所述冷却罩的紧固部。
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