公开(公告)号：CN113120847B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN201911402850.3

申请日：2019-12-31

Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 王鹏 ,  黄兆兴 ,  谢会开

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 一种使用SOI圆片制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：步骤1）、选择SOI圆片作为衬底1；步骤2）、对顶硅层1‑3进行离子掺杂形成低阻硅，作为加热电阻层4；步骤3）、在加热电阻层4上制作绝缘材料作为绝缘层5；步骤4）、在绝缘层5上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层6；步骤5）、刻蚀衬底1的底部至氧埋层1‑2；步骤6）、在衬底1的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作，其中步骤5）和步骤6）可以互换。优点：硅既作为结构层的同时，又作为加热层，免除了还要做加热层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热层的工艺步骤，提高了效率。

公开(公告)号：CN114047625B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202111157004.7

申请日：2021-09-29

Applicant: 北京理工大学 ,  无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 谢会开 ,  王鹏

IPC: G02B26/08

Abstract: 本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。

公开(公告)号：CN111580265B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN202010349895.5

申请日：2020-04-28

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 薛原 ,  谢会开 ,  王鹏

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  B81C3/00

Abstract: 公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；定位结构，包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，凸起部和凹陷部中的任意一者位于结构平台上，另一者位于镜面结构上，且凸起部与凹陷部相匹配，其中，结构平台在驱动部的带动下向靠近镜面结构的方向运动，由定位结构将结构平台和镜面结构相互连接匹配，形成微机电系统微镜。通过驱动部来使结构平台朝向镜面结构运动，又有定位部使二者相匹配，提高了微镜的表面质量，且无需人工参与，保护了微镜结构。

公开(公告)号：CN218824968U

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202223099080.X

申请日：2022-11-22

Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 赵一鸣 ,  郑栋 ,  潘腾 ,  曹英超

IPC: G02B23/24 ,  G02B7/00

Abstract: 本实用新型涉及光学探头技术领域，尤其涉及一种光学探头的可拆式连接结构，主机侧面设置有用于插入管对接用的外框架与内框架，所述内框架的中心设置有齿轮，齿轮的两边分别设置有与其保持啮合传动的滑板，所述齿轮的旋转中心设置的旋转轴顶端联轴转动安装有凸轮盘，在所述内框架的两边对应位置处分别弹性连接有限位柱，限位柱向外弹性伸缩并插设在插入管的端口处预留的定位孔中，本实用新型解决了光学探头与主机的装拆较为不便，会影响探头检查工作进行的问题，本连接结构的提出，插入管插入主机的内外框架之间，通过两侧对称设置的可弹性伸缩的限位柱，能够有效地对该插入管进行约束，确保其位置固定，有利于检测工作的进行。

公开(公告)号：CN219742656U

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202222921270.9

申请日：2022-11-03

Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 赵一鸣 ,  郑栋 ,  潘腾 ,  曹英超

IPC: A61B1/04

Abstract: 本实用新型涉及内窥镜探头技术领域，尤其涉及一种可用于不同角度扫描成像的内窥镜探头，所述内窥镜探头由探头筒以及插入管组成，所述探头筒的内部中间位置设置有固定板，固定板的中心通过传动轴转动连接有驱动柱，所述驱动柱的前端转动安装有安装盘，安装盘在其平面上安装光学镜头，所述驱动柱的柱体上还设置有气缸杆，所述气缸杆端部通过连接杆与所述安装盘传动连接，本实用新型解决了内窥镜探头的观察镜头无法调整，会影响观察结果的问题，本探头结构的提出，将光学镜头设置在沿轴心旋转的安装盘上，安装盘保持竖直可以用于垂直扫描，而安装盘保持倾斜状态，则可以用于不同区域的全面性扫描，观察范围明显扩大。